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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子教材>高介電柵介質材料研究進展

      高介電柵介質材料研究進展

      2010-11-11 | rar | 659 | 次下載 | 免費

      資料介紹

      摘要t傳統(tǒng)的柵介質材料Si02不能滿足CMOS晶體管尺度進一步縮小的要求，因此高介電柵介質材料在近
      幾年得到了廣泛的研究，進展迅速．本文綜述了國內外對高介電材料的研究成果，并結合作者的工作介紹了高
      介電柵介質在晶化溫度、低介電界面層、介電擊穿和金屬柵電極等方面的最新研究進展．
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