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微位移驅(qū)動(dòng)器是一種能產(chǎn)生微米、亞微米甚至納米級(jí)位移的裝置，它在精密加工與測(cè)量中得到廣泛的應(yīng)用。目前國(guó)內(nèi)外研究比較深入的微位移驅(qū)動(dòng)器按其工作原理有壓電陶瓷、液壓驅(qū)動(dòng)等類(lèi)型。隨著新型氣動(dòng)執(zhí)行元件的開(kāi)發(fā)和現(xiàn)代控制理論的導(dǎo)人，氣動(dòng)控制系統(tǒng)的控制性能得到了極大提高，使過(guò)去人們一直認(rèn)為的氣動(dòng)控制系統(tǒng)只能用于氣缸行程兩端控制，難于滿(mǎn)足對(duì)位置或力進(jìn)行連續(xù)可調(diào)的高精度控制要求這一觀念徹底改變。氣動(dòng)式微驅(qū)動(dòng)器，相對(duì)于現(xiàn)有的機(jī)械式、壓電陶瓷式、液壓式微驅(qū)動(dòng)器心，具有動(dòng)作迅速、平穩(wěn)、可靠、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、節(jié)能、工作壽命長(zhǎng)的特點(diǎn)，還有易于控制、易維護(hù)、無(wú)環(huán)境污染等優(yōu)點(diǎn)。
本研究采用理論分析、有限元仿真和實(shí)驗(yàn)等方法對(duì)此微位移驅(qū)動(dòng)器進(jìn)行了結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)并對(duì)其剛度、線(xiàn)性度、互耦性等性能進(jìn)行了分析，驗(yàn)證其作為微驅(qū)動(dòng)器的優(yōu)勢(shì)。
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