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超聲電機壓電致動器驅(qū)動的設(shè)備R軸應(yīng)用，超聲電機高精度（約為0.005°）、可中空、體積小、扭力大、斷電自鎖、適應(yīng)溫度范圍-40℃到105℃，配合外置或者內(nèi)置閉環(huán)控制進行高精度，可應(yīng)用于設(shè)備R軸及微型機械臂應(yīng)用。
目前設(shè)備R軸及微型機械臂，普遍使用伺服電機、步進電機，控制方案，但是方案體積大，重量大，運動精度低，無法中空，結(jié)構(gòu)配件要求笨重，一般精度無法到達0.005°級別。
壓電致動器驅(qū)動的設(shè)備R軸及微型機械臂，超聲電機高精度、可中空、體積小、重量只有15克，扭力大任意組合，不產(chǎn)生干涉。
微型體積輸出大推力，閉環(huán)控制，將微型高精度閉環(huán)控制系統(tǒng)安裝在微型超聲電機背部，實現(xiàn)位置反饋，運動過程中將信息傳導(dǎo)到超聲電機0.005°閉環(huán)控制電路從而控制微型超聲電機精準運動。
超聲電機伺服控制電路支持物理限位尋零功能。使用超聲電機技術(shù)制作的滑臺具有明顯優(yōu)勢。
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