1 引言
　　隨著科學的發(fā)展和技術(shù)的進步．超聲波在超聲焊接、超聲清洗、干燥、霧化、導(dǎo)航、測距、育種等領(lǐng)域的應(yīng)用日趨廣泛。現(xiàn)在的大功率超聲波電源大都采用頻率跟蹤控制或功率控制。這種單一控制方法不僅會降低超聲波電源效率，而且會影響輸出精度和強度。如何使超聲波電源根據(jù)實際負載實時，動態(tài)調(diào)節(jié)輸出諧振頻率和功率，從而保證超聲波加工等操作的要求具有重要的理論研究和實際應(yīng)用價值。
　　2 超聲波電源系統(tǒng)的組成
　　超聲波電源系統(tǒng)主要由220V電源、整流濾波、高頻逆變單元、匹配網(wǎng)絡(luò)、檢測電路、PWM產(chǎn)生電路和驅(qū)動電路組成，如圖1所示。
　　
　　220V單相交流電經(jīng)過二極管不可控整流電路得到直流電壓，然后經(jīng)過由MOSFET組成的高頻逆變電路得到滿足換能器要求的高頻電壓。為減少高頻工作條件下MOSFET的開關(guān)損耗，高頻逆變電路采用帶輔助網(wǎng)絡(luò)的全橋結(jié)構(gòu)，如圖2所示。此電路結(jié)構(gòu)解決了傳統(tǒng)零電壓開關(guān)（ZVS）PWM電路變壓器漏感小且滯后橋臂難于實現(xiàn)ZVS的問題。同時，根據(jù)電流增強原理，此電路結(jié)構(gòu)可在任意負載和輸入電壓范圍內(nèi)實現(xiàn)零電壓開關(guān)，大大減少了占空比丟失。超聲波電源與換能器匹配的好壞將決定整個電路的控制效果。因此，應(yīng)該對匹配網(wǎng)絡(luò)每個參量（高頻變壓器匝比K，輸出匹配電感Lf）進行嚴格的計算。匹配主要指為使發(fā)生器輸出額定電功率，進行阻抗變換匹配。以及為使發(fā)生器輸出最高效率進行調(diào)諧匹配。
　　
　　采用56F803型DSP作為控制電路的核心處理器．它內(nèi)置2 KB SRAM，31．5 KB FLASH，同時，其40 MHz的CPU時鐘頻率比其他單片機具有更強的處理能力。6路PWM信號可以實現(xiàn)高頻逆變電路開關(guān)管MOSFET的移相控制。12位A／D轉(zhuǎn)換器采集可以實現(xiàn)電壓和電流采樣并滿足采樣數(shù)據(jù)精度的要求。利用56F803型DSP中定時器的捕獲功能可以精確計算相位差大小，實現(xiàn)系統(tǒng)的頻率跟蹤控制。串行外設(shè)接口SPI與MCl4489配合使用可以實現(xiàn)對5位半數(shù)碼管的控制．從而實現(xiàn)系統(tǒng)頻率和功率的顯示。另外，56F803還支持C語言與匯編語言混合編程的 SDK軟件開發(fā)包．可以實現(xiàn)在線調(diào)試。
　　驅(qū)動電路采用IR21lO型驅(qū)動模塊．它具有集成度高，響應(yīng)速度快（tar/taff=120 ns／94 ns），偏值電壓高（《600 V），驅(qū)動能力強，成本低和易于調(diào)試等優(yōu)點。IR2110是基于自舉驅(qū)動原理的功率MOSFET驅(qū)動電路．驅(qū)動信號延時為納秒級，開關(guān)頻率可以從數(shù)十赫茲到數(shù)百千赫茲。同時，IR2110還具有比較完善的保護功能（如欠壓檢測、抗干擾、外部保護閉鎖等）。一個IR2110可以同時驅(qū)動單橋臂的上下二個 MOSFET，因此，使用少量分立元件和一路控制電源就可以實現(xiàn)一個橋臂MOSFET 的驅(qū)動控制，這樣大大減小了驅(qū)動電路的體積和成本。