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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子元器件應(yīng)用>肖特基勢壘二極管及制造方法

      肖特基勢壘二極管及制造方法

      2011-03-09 | rar | 906 KB | 次下載 | 10積分

      資料介紹

      一種肖特基勢壘二極管及其制造方法。目前，
      由于有臺面型晶體管蝕刻及厚的聚眈亞膠層等，故
      不能推進(jìn)芯片的小型化，并且，電極間存在距離，
      不能提高特性。另外，其制造方法中肖特基結(jié)部分
      的蝕刻控制很困難。本發(fā)明通過在基板表面設(shè)置n
      型及n+ 型離子注入?yún)^(qū)域形成動作區(qū)域，不再需要
      設(shè)置臺面及聚眈亞膠層，可實現(xiàn)化合物半導(dǎo)體的平
      面型肖特基勢壘二極管?？山档途某杀荆捎?br /> 可使電極間距離接近，故可實現(xiàn)芯片的縮小，也可
      提高高頻特性。由于形成肖特基電極時不蝕刻
      GaAs ，故可制造再現(xiàn)性好的肖特基勢壘二極管。


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