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      電子發(fā)燒友網>電子資料下載>電子資料>VLSI和ULSI的多層互連技術

      VLSI和ULSI的多層互連技術

      2022-08-09 | pdf | 1.87 MB | 次下載 | 1積分

      資料介紹

      為建立一個集成電路，需要在同一襯底上制造許多有源器件。開始的時候，器件相互間都必須 電學隔離，但在以后的制造工序中，特定的器件又必須電性互連以實現(xiàn)特定的電路功能。在第2章中我 們考慮了隔離器件的技術，并且在第3章中我們描述了互連材料和Si襯底間接觸孔的制造。本章將涉及 互連結構本身的制造技術。
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