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如何在工業(yè)應(yīng)用中準(zhǔn)確監(jiān)測(cè)和控制氣體流量

2513672 2022-11-24 | pdf | 228.22KB | 次下載 | 免費(fèi)

資料介紹

許多工業(yè)自動(dòng)化 (IA) 和制造設(shè)施通常需要在各種工藝和應(yīng)用中使用空氣、氧氣、氮?dú)狻錃?、氦氣和氬氣等氣體。這些用途包括清潔、切割、焊接和化學(xué)制造。在許多情況下，精密設(shè)備和化學(xué)過(guò)程需要對(duì)氣體進(jìn)行極其精細(xì)的控制，以避免難以診斷的設(shè)備故障或過(guò)程失敗。此外，過(guò)量的氣體流量會(huì)導(dǎo)致效率損失，以及與更換氣體容器相關(guān)的額外成本。許多工業(yè)自動(dòng)化 (IA) 和制造設(shè)施通常需要在各種工藝和應(yīng)用中使用空氣、氧氣、氮?dú)?、氫氣、氦氣和氬氣等氣體。這些用途包括清潔、切割、焊接和化學(xué)制造。在許多情況下，精密設(shè)備和化學(xué)過(guò)程需要對(duì)氣體進(jìn)行極其精細(xì)的控制，以避免難以診斷的設(shè)備故障或過(guò)程失敗。此外，過(guò)量的氣體流量會(huì)導(dǎo)致效率損失，以及與更換氣體容器相關(guān)的額外成本。以標(biāo)準(zhǔn)升每分鐘 (SLM) 測(cè)量的精確氣體流量是一個(gè)有趣的問(wèn)題，因?yàn)闇y(cè)量精度受壓力和溫度以及傳感機(jī)制精度的影響。標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器通常用于控制氣體流量，但隨著時(shí)間的推移，這些控制器可能會(huì)失去準(zhǔn)確性，并且在仍在使用時(shí)需要定期校準(zhǔn)，從而增加了生命周期成本。技術(shù)進(jìn)步導(dǎo)致使用氣體溫度的微熱測(cè)量來(lái)準(zhǔn)確確定精確的 SLM 體積流量。以標(biāo)準(zhǔn)升每分鐘 (SLM) 測(cè)量的精確氣體流量是一個(gè)有趣的問(wèn)題，因?yàn)闇y(cè)量精度受壓力和溫度以及傳感機(jī)制精度的影響。標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器通常用于控制氣體流量，但隨著時(shí)間的推移，這些控制器可能會(huì)失去準(zhǔn)確性，并且在仍在使用時(shí)需要定期校準(zhǔn)，從而增加了生命周期成本。技術(shù)進(jìn)步導(dǎo)致使用氣體溫度的微熱測(cè)量來(lái)準(zhǔn)確確定精確的 SLM 體積流量。本文討論了工業(yè)氣體的重要性以及因氣體流量控制不準(zhǔn)確而導(dǎo)致的問(wèn)題。然后，它著眼于采用先進(jìn)氣體流量傳感技術(shù)的本文討論了工業(yè)氣體的重要性以及因氣體流量控制不準(zhǔn)確而導(dǎo)致的問(wèn)題。然后，它著眼于采用先進(jìn)氣體流量傳感技術(shù)的SensirionSensirion質(zhì)量流量控制器，并解釋了如何有效地設(shè)置和使用它們以降低總體成本，同時(shí)提高效率、可靠性和生產(chǎn)率。質(zhì)量流量控制器，并解釋了如何有效地設(shè)置和使用它們以降低總體成本，同時(shí)提高效率、可靠性和生產(chǎn)率。工業(yè)氣體需要精確控制工業(yè)氣體需要精確控制工業(yè)設(shè)施根據(jù)各種氣體的特性將各種氣體用于各種用途。某些系統(tǒng)，例如供暖、通風(fēng)和空調(diào) (HVAC) 系統(tǒng)可以容忍氣體流量控制中的小誤差，但化學(xué)氣相沉積 (CVD)、氣相色譜和液相色譜以及質(zhì)譜等精密設(shè)備需要極其精確控制氣體以避免設(shè)備故障或過(guò)程失敗。這些類型的故障難以診斷，并可能導(dǎo)致長(zhǎng)時(shí)間且代價(jià)高昂的停機(jī)。工業(yè)設(shè)施根據(jù)各種氣體的特性將各種氣體用于各種用途。某些系統(tǒng)，例如供暖、通風(fēng)和空調(diào) (HVAC) 系統(tǒng)可以容忍氣體流量控制中的小誤差，但化學(xué)氣相沉積 (CVD)、氣相色譜和液相色譜以及質(zhì)譜等精密設(shè)備需要極其精確控制氣體以避免設(shè)備故障或過(guò)程失敗。這些類型的故障難以診斷，并可能導(dǎo)致長(zhǎng)時(shí)間且代價(jià)高昂的停機(jī)。氫氣、乙炔和丁烷等易燃?xì)怏w與氧氣混合產(chǎn)生熱量、火焰或受控爆炸。這些氣體必須以適當(dāng)?shù)臐舛然旌显谝黄鹨杂糜谠撨^(guò)程。就像在汽車(chē)的內(nèi)燃機(jī)中一樣，太稀或太濃的易燃?xì)怏w混合物會(huì)產(chǎn)生溫度不合適的火焰，從而導(dǎo)致過(guò)程效率低下或失敗。氫氣、乙炔和丁烷等易燃?xì)怏w與氧氣混合產(chǎn)生熱量、火焰或受控爆炸。這些氣體必須以適當(dāng)?shù)臐舛然旌显谝黄鹨杂糜谠撨^(guò)程。就像在汽車(chē)的內(nèi)燃機(jī)中一樣，太稀或太濃的易燃?xì)怏w混合物會(huì)產(chǎn)生溫度不合適的火焰，從而導(dǎo)致過(guò)程效率低下或失敗。氧氣、一氧化氮和空氣等壓縮氣體被用作氧化劑，也有助于燃燒。壓縮氣體太少會(huì)導(dǎo)致化學(xué)過(guò)程失敗，而氣體太多會(huì)導(dǎo)致效率下降、浪費(fèi)氣體并增加成本。氧氣、一氧化氮和空氣等壓縮氣體被用作氧化劑，也有助于燃燒。壓縮氣體太少會(huì)導(dǎo)致化學(xué)過(guò)程失敗，而氣體太多會(huì)導(dǎo)致效率下降、浪費(fèi)氣體并增加成本。氬氣、二氧化碳和氮?dú)獾榷栊詺怏w通常用于關(guān)鍵的安全操作，例如火災(zāi)或氧化控制，也用于抑制某些化學(xué)反應(yīng)。氣體太少會(huì)導(dǎo)致滅火失敗，而太多會(huì)浪費(fèi)氣體并增加相關(guān)成本。