資料介紹
簡介:針對直徑檢測及控制技術(shù)向大直徑化硅棒發(fā)展的需求,設(shè)計(jì)一種低成本,功能適中的晶體生長控徑系統(tǒng)。該系統(tǒng)以ARM9系列的S3C2440為核心,基于Linux嵌入式操作系統(tǒng)設(shè)計(jì)一種圖像處理方法,根據(jù)亞像素原理計(jì)算出硅棒直徑,并為上位機(jī)提供具有特定電平的模擬信號,從而控制直拉單晶硅生長速度,使系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)測量數(shù)據(jù)可讀化。實(shí)驗(yàn)表明,該系統(tǒng)能夠很好地解決圖像處理問題,圖像處理的準(zhǔn)確率滿足直徑檢測系統(tǒng)的要求,且實(shí)現(xiàn)簡單,成本較低,特別適合于對精度要求較嚴(yán)格的檢測系統(tǒng)。
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