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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>品質(zhì)管理資料>用于減薄硅片的蝕刻技術(shù)

      用于減薄硅片的蝕刻技術(shù)

      2022-06-28 | pdf | 1.22 MB | 次下載 | 4積分

      資料介紹

      高效交錯背接觸(IBC)太陽能電池有助于減少太陽能電池板的面積，以提供足夠的家庭消費能源。我們認為，即使在20μm的厚度下，借助光捕獲方案，適當鈍化的IBC電池也能保持20%的效率。在這項工作中，光刻和蝕刻技術(shù)被用于對厚度小于20μm的晶硅(cSi)晶片的深度蝕刻。
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