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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子論文>射頻無線論文>納秒激光脈沖誘導硅表面微結構

      納秒激光脈沖誘導硅表面微結構

      2010-03-05 | rar | 221 | 次下載 | 5積分

      資料介紹

      利用Nd:YAG納秒激光脈沖,在能量密度為1~10 J/cm2范圍內(nèi)輻照單晶硅,形成了表面錐形微結構，在SF6氣氛和空氣環(huán)境下均形成了錐形尖峰表面微結構。SF6氣氛下產(chǎn)生的錐形尖峰頂端都有小球，部分錐形上還有二次尖峰形成，空氣中納秒激光誘導的錐形尖峰微結構頂端和邊緣有由液滴固化形成的粒狀物質，不同于利用準分子納秒激光誘導的細長須狀結構和飛秒激光輻照下產(chǎn)生的具有表面枝蔓狀納米結構的錐形微結構。實驗結果表明，這種尖峰微結構的形成與輻照激光的波長和脈沖持續(xù)時間有關。對空氣中微構造硅的輻射反射的初步研究表明，在500~2 400 nm范圍內(nèi)的光輻射反射率不高于20 %。
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