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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子論文>半導體技術論文>直徑12英寸硅單晶拋光片

      直徑12英寸硅單晶拋光片

      2009-12-21 | rar | 444 | 次下載 | 5積分

      資料介紹

      公司立足自主創(chuàng)新，攻克了12 英寸硅單晶生長的熱場設計和安全、雜質(zhì)和缺陷的控制、
      硅片幾何參數(shù)的精密控制、表面金屬和顆粒的去除等關鍵技術難題，形成了從單晶生長到晶片加工、處理和檢測的自有成套技術，并利用該套技術開發(fā)成功直徑12 英寸硅單晶拋光片新產(chǎn)品，填補了國內(nèi)空白。產(chǎn)品關鍵參數(shù)達到了國際先進水平，可滿足0.13－0.10 微米線寬的先進集成電路制造技術要求，并建成了我國第一條月產(chǎn)1 萬片直徑12 英寸硅單晶拋光片中試生產(chǎn)線。
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