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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子論文>半導體技術論文>Berkovich壓頭劃痕試驗中晶體半導體材料的去除機理及表面質量的介紹

      Berkovich壓頭劃痕試驗中晶體半導體材料的去除機理及表面質量的介紹

      2020-06-03 | pdf | 3.03 MB | 次下載 | 免費

      資料介紹

      　　晶體半導體材料以其獨特的物理力學性能，在眾多的技術應用中得到了廣泛的應用。晶體半導體材料的溝道深度隨劃痕載荷的增加而增加，而劃痕速度對溝道深度的影響不顯著。與壓痕過程不同的是，表面被劃痕載荷剪切，導致塑性流動和劃痕邊緣的“脊”在10-40 mN范圍內。當劃痕載荷達到60mn時，在表面邊緣觀察到裂紋并擴展到自由表面，甚至由于脆性斷裂而導致材料的去除。同時，Si和Ge單晶的彈塑性變形臨界載荷分別為2.24mn和2.26mn。最初的Si-I轉變?yōu)棣?Si，然后轉變?yōu)镾i XII（R8）和體心立方（BC8），最后在刮擦過程中恢復為sixii結構。微碎片和斷裂碎片表明，劃痕實驗中發(fā)生了脆性斷裂和剪切斷裂。為了獲得較好的晶體半導體材料表面質量，應將刻劃載荷控制在40mn以下，刻劃速度控制在4μm/s左右。

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