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      非平衡磁控濺射系統(tǒng)磁場的半解析法

      2009-10-20 | rar | 344 | 次下載 | 5積分

      資料介紹

      非平衡磁控濺射系統(tǒng)磁場的半解析法:應用電磁場分析中的一種新方法———半解析法，對一種典型的非平衡磁控濺射系統(tǒng)進行了磁場分析) 結果表明，應用半解析法計算，求解變量少、方法簡單，而且計算精度高，該方法相對于等效源法有嚴密的理論依據(jù)，標量位函數(shù)的表達式為級數(shù)解析式，有利于場強的計算，更有利于優(yōu)化設計)
      關鍵詞：非平衡磁控濺射，半解析法，標量磁位，磁場強度
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