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分析了分布式微機(jī)電系統(tǒng)特點(diǎn)，對(duì)基于多主體控制的分布式微機(jī)電系統(tǒng)構(gòu)成進(jìn)行了研究，提出了采用多主體技術(shù)實(shí)現(xiàn)分布式MEMS控制的框架。對(duì)系統(tǒng)的模型、微機(jī)電主體的結(jié)構(gòu)、行為策略進(jìn)行了形式化表示，給出了控制算法，并在此基礎(chǔ)上開(kāi)發(fā)了原型系統(tǒng)。This paper analyzes the characteristics of distributed Micro Electromechanical System (MEMS) and studies components of MEMS based on multi-agent technology. Then, the control architecture of distributed MEMS designed with multi-agent technology is presented. The system model, structure of micro electromechanical agent, and behavior decision are expressed in formal approach. An algorithm is developed for the controlling the behavior decision and production in distributed real-time MEMS. And a prototype system is realized based on the algorithm.
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