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      等離子體源離子注入技術(shù)及其應(yīng)用

      2011-05-22 | pdf | 151 KB | 次下載 | 免費(fèi)

      資料介紹

      離子注八材料表面陡性技術(shù)， 是材料科學(xué)發(fā)展的一個(gè)重要方面。文中概述7等離子體源離子注八技術(shù)的特點(diǎn) 基皋原理 應(yīng)用效果。取覆等離子體源離子注八技術(shù)的發(fā)展趨勢。例如， 除7在金屬合金方面取得根好效果外。在半導(dǎo)體器件上也取得了意外的效果。此外，開展復(fù)合表面改性層的研究也取得了重要進(jìn)展。

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