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隨著微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMsl研究的深入和產(chǎn)業(yè)化的需求．檢測(cè)技術(shù)在MEMS中的重要性越來(lái)越大。基 于機(jī)器微視覺(jué)原理組建MEMS動(dòng)態(tài)測(cè)試系統(tǒng)，在此系統(tǒng)之上，采用模糊圖像合成技術(shù)對(duì)MEMS器件的平面搬 運(yùn)動(dòng)特性進(jìn)行測(cè)量，并給出了測(cè)量結(jié)果。
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