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通過集成微型聲傳感器、集成微型振動(dòng)傳感器、集成微型傳感器組和無線集成微型傳感器的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)、性能以及研制情況,介紹目前先進(jìn)的集成微型傳感器的研究進(jìn)展?fàn)顩r。
關(guān)鍵詞: 集成; 微型; 傳感器; 研究
Abstract : The development of an advanced integrated micro2sensor has been introduced by the structure charac2 teristic and performance and manufacture of acoustic emission micro2sensors , vibration sensors , multi2sensor coupon and wireless integrated micro2sensors.
Key words : integrated ; micro ; sensor ; development
關(guān)鍵詞: 集成; 微型; 傳感器; 研究
Abstract : The development of an advanced integrated micro2sensor has been introduced by the structure charac2 teristic and performance and manufacture of acoustic emission micro2sensors , vibration sensors , multi2sensor coupon and wireless integrated micro2sensors.
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