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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子論文>傳感器技術論文>mems概況及發(fā)展趨勢

      mems概況及發(fā)展趨勢

      2009-07-13 | rar | 298 | 次下載 | 5積分

      資料介紹

      主要介紹了mems的發(fā)展背景、研究內(nèi)容、特點、現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢。
      關鍵詞：微電子機械系統(tǒng)；微傳感器；微執(zhí)行器

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