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通過對半導(dǎo)體材料中載流子遷移率的特性分析, 在原HPM 探測器的基礎(chǔ)上, 提出了探測器中半導(dǎo)體傳感器的新設(shè)計(jì), 使探測器的檢測靈敏度提高一個量級; 同時研制成功S 波段HPM 探測器。在傳感器的加工方面采用了新的工藝, 并對電源進(jìn)行了改進(jìn), 使之功能完善、使用簡單、具有實(shí)用性。其電源偏壓在40V時,X 波段的探測器在60kW 時輸出檢測脈沖信號幅度高達(dá)9V , S 波段的探測器在600kW 時輸出檢測脈沖信號幅度高達(dá)10V , 可適用于10～ 500ns 脈寬的HPM 功率測量。
關(guān)鍵詞: 高功率微波; 功率測量; 半導(dǎo)體; 探測器
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