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以一種新型高4 值1213 加速度傳感器為例進(jìn)行有限元模擬5 將實(shí)際封裝簡化為一種最簡
單的封裝結(jié)構(gòu)5 進(jìn)行頻域分析和時(shí)域分析5 討論粘結(jié)傳感器芯片和封裝基體的封接材料對其輸出信號的影響。頻域分析表明，封接材料的楊氏模量對封裝后加速度傳感器整體的振動(dòng)模態(tài)的影響很大5 封接膠的楊氏模量很小時(shí)會(huì)致使加速度傳感器的信號失真，模擬表明可選用楊氏模量足夠高的環(huán)氧樹脂類作高4 值傳感器的封接材料。時(shí)域分析靜態(tài)模擬表明，封接材料的楊氏模量對最大等效應(yīng)力、最大正應(yīng)力以及沿加載垂直方向的正應(yīng)力的最大值與最小值基本無影響。時(shí)域分析動(dòng)態(tài)模擬表明5 隨著封接材料楊氏模量的提高5 動(dòng)態(tài)模擬輸出的懸臂梁末端節(jié)點(diǎn)位移的波形和經(jīng)數(shù)字濾波后輸出的信號變好，封接材料的楊氏模量不影響輸出信號的頻率和均值，在加速度脈沖幅值輸入信號變化時(shí)，懸臂梁末端位移平均值輸出信號與輸入有良好的線性關(guān)系。
關(guān)鍵詞! 高4 值加速度傳感器- 傳感器封裝- 頻域分析- 時(shí)域分析
單的封裝結(jié)構(gòu)5 進(jìn)行頻域分析和時(shí)域分析5 討論粘結(jié)傳感器芯片和封裝基體的封接材料對其輸出信號的影響。頻域分析表明，封接材料的楊氏模量對封裝后加速度傳感器整體的振動(dòng)模態(tài)的影響很大5 封接膠的楊氏模量很小時(shí)會(huì)致使加速度傳感器的信號失真，模擬表明可選用楊氏模量足夠高的環(huán)氧樹脂類作高4 值傳感器的封接材料。時(shí)域分析靜態(tài)模擬表明，封接材料的楊氏模量對最大等效應(yīng)力、最大正應(yīng)力以及沿加載垂直方向的正應(yīng)力的最大值與最小值基本無影響。時(shí)域分析動(dòng)態(tài)模擬表明5 隨著封接材料楊氏模量的提高5 動(dòng)態(tài)模擬輸出的懸臂梁末端節(jié)點(diǎn)位移的波形和經(jīng)數(shù)字濾波后輸出的信號變好，封接材料的楊氏模量不影響輸出信號的頻率和均值，在加速度脈沖幅值輸入信號變化時(shí)，懸臂梁末端位移平均值輸出信號與輸入有良好的線性關(guān)系。
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