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      智能MEMS氣體傳感器中微加熱器的優(yōu)化設(shè)計(jì)

      2009-11-23 | rar | 223 | 次下載 | 5積分

      資料介紹

      傳統(tǒng)的金屬氧化物氣體傳感器通常用于測(cè)量可燃性烴類氣體和其他有毒氣體。但是,
      他們存在兩種缺陷,即(a)較高的工作溫度(不小于300℃)及(b)較大的功耗(大于1 瓦)。正在研制的硅材料微型金屬氧化物氣體傳感器克服了這些缺陷。微機(jī)械氣體傳感器的大部分功耗包括各種通過硅襯底傳導(dǎo)的熱損失,通過所有接觸面和輻射向空氣中傳送。微機(jī)械金屬氧化物系氣敏元件的熱特性要針對(duì)低功耗進(jìn)行優(yōu)化，通過傳感層和瞬態(tài)響應(yīng)適當(dāng)?shù)目刂茰囟确植?。但?a href='http://www.www27dydycom.cn/v/tag/7888/' target='_blank' class='arckwlink_none'>MEMS 金屬氧化物氣體傳感器中的微加熱器還沒有得到優(yōu)化。在本文中,我們已經(jīng)研究出一種方法(軟件)用于設(shè)計(jì)和優(yōu)化MEMS 氣體傳感器中的微加熱器。使用這一軟件,可以估算達(dá)到某一溫度所需功率以及活躍層的溫度分布。
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