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      幾種應(yīng)用與多晶硅壓力傳感器的溫漂和靈敏度的補(bǔ)償方法詳細(xì)介紹

      2020-03-11 | pdf | 0.14 MB | 次下載 | 2積分

      資料介紹

      　　列舉了幾種多晶硅高溫壓力傳感器的熱靈敏度漂移補(bǔ)償方法， 并分別討論了它們的原理及特點(diǎn)。對(duì)采用多晶硅熱敏電阻器進(jìn)行補(bǔ)償?shù)膬煞N補(bǔ)償方法進(jìn)行了詳細(xì)地分析和測(cè)試。 實(shí)驗(yàn)表明， 這兩種補(bǔ)償法更適用于多晶硅壓力傳感器。

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