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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子論文>測(cè)試測(cè)量論文>四探針Rymaszewski法電阻率測(cè)量新型電路

      四探針Rymaszewski法電阻率測(cè)量新型電路

      2010-04-30 | rar | 139 | 次下載 | 5積分

      資料介紹

      摘要：為了適應(yīng)半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝發(fā)展的要求，我們開發(fā)了一種利用改進(jìn)的Rymaszewski法進(jìn)行四探針硅片電阻率測(cè)量的單片機(jī)電路。它主要包括恒流源和電壓測(cè)量電路兩部分。它不僅可以顯示恒流源電流以便在其發(fā)生變化時(shí)進(jìn)行調(diào)整，而且可以方便地實(shí)現(xiàn)四根探針分別經(jīng)過四次輪換供給電流和測(cè)量電壓，進(jìn)而提高測(cè)量結(jié)果的精確性。
      關(guān)鍵詞：四探針；恒流源；ICL7107；CD4052
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