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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子論文>測(cè)試測(cè)量論文>Chapter 7H Agilent10716A High

      Chapter 7H Agilent10716A High

      2010-07-06 | rar | 803 | 次下載 | 2積分

      資料介紹

      Description
      The Agilent10716A High Resolution Interferometer (see Figure7H-1)
      offers twice the resolution of conventional plane mirror interferometers
      and has the same excellent thermal characteristics as the
      Agilent10706B interferometer (typically, only 0.04micron of drift per
      degree C). Measurement drift is typically 1/12 of that exhibited by a
      conventional plane mirror interferometer. These features result in
      improved accuracy, repeatability, and positioning capability.
      Although the Agilent10716A interferometer is larger than the
      conventional plane mirror interferometer and the slew rate is halved,
      the finer resolution of this optic allows laser measurement system
      measurement resolution of 2.5nanometers (0.1microinch) with most
      Agilent laser electronics.
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