參數(shù)表征既需要進(jìn)行電流－電壓（IV）測(cè)量，也需要進(jìn)行電容－電壓（CV）測(cè)量。目前開(kāi)發(fā)的制程技術(shù)通常 需要通過(guò)單通道對(duì)晶圓上器件進(jìn)行精確的 IV 和 CV 測(cè)量。Keysight B1500A 半導(dǎo)體器件分析儀在單臺(tái)主 機(jī)中使用一個(gè)新的單插槽多頻率電容測(cè)量單元（MFCMU）和兩個(gè) SMU 單元，能夠支持單通道的 IV 和 CV 測(cè)量。 在一個(gè)探頭臺(tái)上進(jìn)行 IV 和 CV 這兩種測(cè)量并不容易?；?SMU 的 IV 測(cè)量使用三軸連接器，而基于 CMU 的 CV 測(cè)量則使用 BNC 連接器。這兩種測(cè)量之間的切換非常復(fù)雜和耗時(shí)，很容易造成測(cè)量錯(cuò)誤。例如，當(dāng) 通過(guò)手動(dòng)切換測(cè)量電纜時(shí)，需要同時(shí)保持晶圓上的探針不變。在這種情況下切換電纜，摩擦所產(chǎn)生的電荷 可能會(huì)損壞器件。除了電纜連接問(wèn)題之外，為獲得準(zhǔn)確的結(jié)果，還必須正確設(shè)置與電容測(cè)量相關(guān)的誤差補(bǔ) 償參數(shù)。 B1500A 的 SMU CMU 統(tǒng)一單元（SCUU）可以有效解決這些測(cè)量問(wèn)題。SCUU Keysight B1500A 半導(dǎo)體器 件分析儀能夠執(zhí)行精確的 IV 和 CV 測(cè)量并能在兩者之間輕松切換，從而節(jié)省了購(gòu)置復(fù)雜的外部開(kāi)關(guān)矩陣的 開(kāi)支。 本應(yīng)用指南介紹了如何使用 B1500A 簡(jiǎn)單地配置精確的 IV 和 CV 測(cè)量系統(tǒng)。