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標簽 > 單晶片
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旋轉(zhuǎn)圓盤與旋轉(zhuǎn)輪類似,不同之處在于旋轉(zhuǎn)圓盤不是擺動整個圓盤,而是用掃描離子束的方式在整個晶圓表面獲得均勻的離子注入。下圖說明了旋轉(zhuǎn)圓盤系統(tǒng)。
半導體單晶片旋轉(zhuǎn)清洗器中渦流的周期性結(jié)構(gòu)
引言 近年來,隨著集成電路的微細化,半導體制造的清洗方式從被稱為“批量式”的25枚晶片一次清洗的方式逐漸改變?yōu)椤皢螐埵健钡木淮吻逑吹姆绞?。在半導體的...
眾所周知,壓電式壓力傳感器的性能主要用瞬變壓力信號發(fā)生器和正弦信號發(fā)生器測量。瞬變壓力信號發(fā)生器是指產(chǎn)生階躍波或其他非周期信號的壓力發(fā)生器,目前,主要用...
近日,友達董事長彭雙浪宣布了一項重要決策:董事會已決議將友達晶材東側(cè)廠區(qū)出售給美光半導體公司。加上去年已經(jīng)出售的西側(cè)廠區(qū),整個友達晶材廠區(qū)的總售價高達3...
碳化硅晶片制備技術(shù)與國際產(chǎn)業(yè)布局
碳化硅晶片薄化技術(shù),碳化硅斷裂韌性較低,在薄化過程中易開裂,導致碳化硅晶片的減薄非常困難。碳化硅切片的薄化主要通過磨削與研磨實現(xiàn)。
單片SPM系統(tǒng)使用了大量的化學物質(zhì),同時滿足28nm以下的清潔規(guī)格。 本文描述了在集成系統(tǒng)Ultra-C Tahoe中使用批量SPM系統(tǒng)和單晶片清洗,結(jié)...
摘要 低氧含量的濕法加工可能會提供一些優(yōu)勢,但是,完全控制在晶圓加工過程中避免吸氧仍然是單個晶圓工具上的短流程工業(yè)化的挑戰(zhàn)。在線氧濃度監(jiān)測用于工藝優(yōu)化。...
CS5265替代VL102+PS176的轉(zhuǎn)換方案
目前USB TYPEC轉(zhuǎn)HDMI2.0轉(zhuǎn)換方案或者TYPEC轉(zhuǎn)HDMI2.0轉(zhuǎn)換器方案都是用PS176加一個PD芯片來實現(xiàn),其中VL102是一顆PD協(xié)議...
頻率為300KHz的高頻型。僅限用于雙重進紙檢測。通過獨有的技術(shù)拓寬了頻率響應(yīng)。這使得傳感器可以短距離相對,可以用于雙重進紙檢測。
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