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標簽 > 微機械
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在現(xiàn)代汽車技術(shù)中,提升駕駛安全性和操作穩(wěn)定性一直是發(fā)展的重點。橫擺率傳感器作為現(xiàn)代車輛電子穩(wěn)定程序關(guān)鍵的組成部分,扮演著至關(guān)重要的角色。本文將探討兩種主...
基于不同的結(jié)構(gòu)參數(shù)對PMUT性能的影響
近年來,微機械超聲換能器(MUT)技術(shù)一直處于快速發(fā)展階段。與傳統(tǒng)的塊體型超聲換能器相比,MUT具有體積小、質(zhì)量小、集成度高及成本低等特點,因此已經(jīng)成為...
CMUT首先由M.I.Haller提出。CMUT 換能器是由多層結(jié)構(gòu)和多層材料構(gòu)成。CMUT電容單元結(jié)構(gòu)如圖 2 所示,從上到下依次為金屬鋁上電極氧化硅...
Pre-CMOS/MEMS 是指部分或全部的 MEMS 結(jié)構(gòu)在制作 CMOS 之前完成,帶有MEMS 微結(jié)構(gòu)部分的硅片可以作為 CMOS 工藝的初始材料。
隨著生物醫(yī)療、納米技術(shù)和微電子技術(shù)的不斷演進,人們對植入式生物醫(yī)療設備(IBD)的需求正在迅速增長。
隨著世界各國現(xiàn)代化步伐的加快,對檢測技術(shù)的要求越來越高。而科學技術(shù),尤其是大規(guī)模集成電路技術(shù)、微型計算機技術(shù)、機電一體化技術(shù)、微機械和新材料技術(shù)的不斷進...
汽車MEMS市場安裝率節(jié)節(jié)攀升 汽車安全性能要求越來越高
微機械陀螺即MEMS陀螺,也稱為硅微陀螺,它的制作是通過采用半導體生產(chǎn)中成熟的沉積、蝕刻和摻雜等工藝,將機械裝置和電子線路集成在微小的硅芯片上完成的,最...
微機械慣性傳感器的技術(shù)現(xiàn)狀及展望立即下載
類別:傳感器技術(shù)論文 2010-08-17 標簽:微機械 727 0
類別:傳感器技術(shù)論文 2009-11-16 標簽:傳感器微機械 605 0
中國科學技術(shù)大學開發(fā)具有多種變形模式的多關(guān)節(jié)人形微機械
記者8月10日從中國科學技術(shù)大學獲悉,該校微納米工程實驗室吳東教授團隊提出了一種飛秒激光二合一寫入多材料的加工策略,制造出了由溫敏水凝膠和金屬納米顆粒組...
建立了國家“111”引智基地。與美國加州理工學院、加州大學伯克利分校、德國慕尼黑工業(yè)大學、弗萊堡大學、法國巴黎高師等多所國際著名大學建立了良好合作關(guān)系,...
皮秒激光器的原理及微機械加工應用 超短激光脈沖的激光切除的優(yōu)點在很多應用中得到了證實,直到最近也沒有在工廠的地板上發(fā)現(xiàn)這些應用
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