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標簽 > 集成電路制造
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集成電路作為現(xiàn)代電子技術(shù)的核心,其制造水平直接關(guān)系到電子產(chǎn)品的性能和可靠性。隨著摩爾定律的推進,集成電路的特征尺寸不斷縮小,制造工藝日趨復(fù)雜。在這一背景...
成功開發(fā)超厚介質(zhì)膜的淀積和刻蝕工藝、超厚金屬銅的電鍍和化學(xué)機械研磨等工藝,采用與 CMOS 完全兼容的銅互連單大馬士革工藝制作了超厚金屬銅集成電感。該超...
國產(chǎn)襯底片的發(fā)展在雙極型集成電路制造中的應(yīng)用詳細資料概述
隨著國產(chǎn)襯底的生產(chǎn)工藝和控制能力的不斷提升,國產(chǎn)襯底的應(yīng)用也越來越廣。作者就國產(chǎn)襯底在雙極型集成電路制造中普遍關(guān)心的問題做了全面的評估,包括物理參數(shù)、電...
隨著集成電路密度的不斷提高,多晶硅柵的線寬不斷變小,柵氧化層的厚度繼續(xù)變薄,多晶硅的刻蝕變得越來越關(guān)鍵。多晶硅柵的形貌控制,柵氧化層二氧化硅的損失等關(guān)鍵...
2017-12-20 標簽:集成電路制造反應(yīng)離子刻蝕 5133 0
2023年4月27日,中國上?!?,全球領(lǐng)先的集成電路制造和技術(shù)服務(wù)提供商長電科技榮獲了德州儀器(TI)頒發(fā)的“2022年度TI卓越供應(yīng)商獎”。這是...
中國電子信息行業(yè)聯(lián)合會專家調(diào)研組一行赴光華科技考察!
近日,中國工程院特聘專家(原工業(yè)和信息化部司長)肖華、中國電子信息行業(yè)聯(lián)合會執(zhí)行秘書長高素梅、工業(yè)和信息化部華信研究院院長劉九如組成的專家調(diào)研組一行,赴...
從擬合結(jié)果看,指數(shù)擬合的擬合度較差,對應(yīng)的數(shù)據(jù)擬合結(jié)果可信度偏低,該測試結(jié)果可以去除,而對數(shù)擬合和線性擬合的 R2 均滿足了 0.95 的要求,在當前情...
中國半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)的市場規(guī)模與發(fā)展狀況
在中國國內(nèi),半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)和半導(dǎo)體材料業(yè)通稱為半導(dǎo)體支撐業(yè)。根據(jù)中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會的估測,2016 年國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的銷售規(guī)模為57.0 億元,同比...
中國國家科技重大專項“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”3日在北京發(fā)布其“十一五”所獲重要成果稱,在成套工藝方面,“65納米成套產(chǎn)品工藝”整體研發(fā)...
“光博會”集成電路(簡稱IC)產(chǎn)業(yè)發(fā)展論壇,專家與企業(yè)巨子紛至沓來,傳遞出一種信號:武漢IC產(chǎn)業(yè)迎來了巨大的歷史機遇。
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