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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
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面向人體運動感知的微應(yīng)變傳感-微電容集成MEMS
導(dǎo)電聚合物因其高離子電導(dǎo)率和優(yōu)異的機械柔性等獨特優(yōu)勢,被認為是一種極具潛力的智能材料。
數(shù)十年來,基于石英的時鐘器件一直為航空航天和國防應(yīng)用提供參考時鐘。盡管,多年來基于石英的振蕩器不斷增強以改進其缺點,但其固有不足使其成為下一代防御系統(tǒng)(...
使用ADIS16209傾角儀進行傾斜測量的精度和可重復(fù)性
測斜儀之間微妙的內(nèi)部非線性失配將表現(xiàn)出獨特的傳遞曲線。雖然某些非線性由于架構(gòu)而相似,但其他非線性由于部件之間的差異而有所不同。這些將表現(xiàn)為整體噪聲源以及...
在自平衡制導(dǎo)控制系統(tǒng)中使用MEMS慣性測量單元
理想情況下,陀螺儀和加速度計中的多個軸相互正交。然而,一個常見的誤解是,由于多軸陀螺儀或加速度計可以在一個分立的MEMS組件內(nèi)設(shè)計,因此每個軸彼此成90...
高度可靠、精密測量控制的MEMS氣體質(zhì)量流量控制器
AMC1100和AMC2000都可支持空氣、氬氣、二氧化碳、氮氣、氧氣等干燥潔凈無腐蝕性氣體的測量控制,標準量程范圍都為0~100ml/min,在0-5...
如何構(gòu)建基于MEMS的解決方案用于狀態(tài)監(jiān)測中的振動檢測
本文展示了一種基于ADXL1002 MEMS加速度計的高線性、低噪聲、寬帶振動測量解決方案。該解決方案可用于軸承分析或發(fā)動機監(jiān)控,以及需要高達 ±50 ...
SPI至RS-422/RS-1設(shè)計解決方案的詳細物理層設(shè)計注意事項
為MEMS實現(xiàn)有線物理層接口的常見挑戰(zhàn)包括管理EMC魯棒性和數(shù)據(jù)完整性。然而,當在長RS-485/RS-422電纜上擴展時鐘同步接口(如SPI)時,以及...
您需要了解的有關(guān)狀態(tài)監(jiān)測的MEMS加速度計的信息
市場上出現(xiàn)了許多高度集成且易于部署的狀態(tài)監(jiān)測產(chǎn)品,這些產(chǎn)品采用微機電系統(tǒng)(MEMS)加速度計作為核心傳感器。這些經(jīng)濟型產(chǎn)品有助于降低部署和擁有的總體成本...
大多數(shù)MEMS傳感器都具有自檢功能,能夠在關(guān)鍵任務(wù)應(yīng)用中部署之前測試傳感器。此功能練習(xí)傳感器的機械結(jié)構(gòu),以模擬其設(shè)計要測量的外力。此診斷還可用于模擬步進...
適用于阻抗條測試,信號完整性驗證、共面波導(dǎo)、電路調(diào)試及測試裝置用途,基本可以做到高速信號測試無死角。
使用MEMS加速度計和自適應(yīng)參考方法助于大幅提高DVR系統(tǒng)性能
現(xiàn)代車載數(shù)字視頻記錄系統(tǒng) (DVR) 或 OBD 正在使用加速度計(g 傳感器)來測量車載加速度。這允許DVR在發(fā)生預(yù)定義事件(例如急剎車或碰撞)時,使...
來自慣性傳感器的信息可以被處理和 集成以導(dǎo)出許多不同類型的運動、位置、 和方向輸出。每種類型的運動都需要廣泛的 必須具有的應(yīng)用相關(guān)復(fù)雜性范圍 理解。一個...
電磁MEMS基本原理-MEMS掃描微鏡和MEMS開關(guān)
電磁驅(qū)動型掃描微鏡是依據(jù)帶電線圈產(chǎn)生的電磁場來驅(qū)動的。電磁微鏡最明 顯的優(yōu)勢是僅在低電壓低電流的驅(qū)動下就可以達到較大的微鏡角度偏轉(zhuǎn),同時也 具有偏轉(zhuǎn)速度...
運動對生命既是不可或缺的,也是必不可少的。我們這些移動的人似乎處于永動機中,對于那些不動的人來說,可能需要某種形式的機械輔助工具來協(xié)助提供運動。不難想象...
精密MEMS傳感器實現(xiàn)新的導(dǎo)航應(yīng)用
導(dǎo)航通常與汽車、飛機和輪船有關(guān)。然而,在工業(yè)和醫(yī)療領(lǐng)域,精確導(dǎo)航正變得越來越廣泛地應(yīng)用于從工廠機械和手術(shù)機器人到急救人員跟蹤的各種應(yīng)用中。有許多現(xiàn)有的方...
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