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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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MEMS表面微機(jī)械加工工藝是指所有工藝都是在圓片表面進(jìn)行的MEMS制造工藝。表面微加工中,采用低壓化學(xué)氣相淀積(LPCVD)這一類方法來(lái)獲得作為結(jié)構(gòu)單元...
MEMS存儲(chǔ)設(shè)備的請(qǐng)求調(diào)度算法及數(shù)據(jù)布局策略的詳細(xì)介紹
MEMS也即微機(jī)電系統(tǒng),電子專業(yè)的朋友對(duì)MEMS都具備一定認(rèn)識(shí)。在往期文章中,小編對(duì)MEMS交換、MEMS封裝等有所介紹。為增進(jìn)大家對(duì)MEMS的了解程度...
2021-02-13 標(biāo)簽:MEMS存儲(chǔ)器存儲(chǔ)設(shè)備 1498 0
MEMS存儲(chǔ)設(shè)備的故障管理詳細(xì)說(shuō)明
MEMS也就是微機(jī)電系統(tǒng),對(duì)于MEMS系統(tǒng),我們或多或少有所認(rèn)識(shí)。上篇文章中,小編對(duì)MEMS存儲(chǔ)設(shè)備的請(qǐng)求調(diào)度算法有所介紹。為增進(jìn)大家對(duì)MEMS的了解,...
2021-02-13 標(biāo)簽:MEMSRAM存儲(chǔ)設(shè)備 2788 0
MEMS的工藝流程和MEMS加速度計(jì)的應(yīng)用前景詳細(xì)說(shuō)明
MEMS技術(shù)是目前很多廠家都在使用的先進(jìn)技術(shù)之一,在前兩篇文章中,小編對(duì)MEMS存儲(chǔ)設(shè)備請(qǐng)求調(diào)度算法以及MEMS存儲(chǔ)設(shè)備的故障管理有所介紹。為增進(jìn)大家對(duì)...
近幾年,智能手機(jī)中的壓力傳感器也逐漸成為標(biāo)配,主要用來(lái)測(cè)量大氣壓力。測(cè)量大氣壓的目的,是為了通過(guò)不同高度的氣壓,來(lái)計(jì)算海拔高度,同GPS定位信號(hào)配合,實(shí)...
溫度變化及振動(dòng)條件下使用加速度計(jì)測(cè)量?jī)A斜
試圖達(dá)到最佳傾斜精度時(shí),必須采用某種形式的溫度穩(wěn)定或補(bǔ)償。在下面的例子中,假設(shè)恒溫為25℃。
任何晶圓的刻蝕都涉及邊緣不連續(xù)性,而且隨著晶圓尺寸提升至300mm,這些問(wèn)題對(duì)良率的影響會(huì)更為顯著。
英飛凌進(jìn)一步改善MEMS麥克風(fēng)聲學(xué)性能和功耗
根據(jù)市場(chǎng)調(diào)研機(jī)構(gòu) Omdia報(bào)告指出,英飛凌科技股份有限公司已成功登上 MEMS 麥克風(fēng)市場(chǎng)的領(lǐng)導(dǎo)地位。根據(jù)報(bào)告中MEMS 芯片銷售量顯示,英飛凌的市場(chǎng)...
目前主要的磁傳感技術(shù)根據(jù)工作原理的不同,包括霍爾、AMR(各向異性磁阻傳感器)、GMR(巨磁阻)、TMR(隧道磁電阻)、磁通門(mén)、磁感應(yīng)(Magneto ...
陀螺儀的內(nèi)部原理是這樣的:對(duì)固定指施加電壓,并交替改變電壓,讓一個(gè)質(zhì)量塊做振蕩式來(lái)回運(yùn)動(dòng),當(dāng)旋轉(zhuǎn)時(shí),會(huì)產(chǎn)生科里奧利加速度,此時(shí)就可以對(duì)其進(jìn)行測(cè)量;這有點(diǎn)...
光電傳感器指采用光電元件來(lái)檢測(cè)物體的有無(wú)和表面狀態(tài)的變化等的傳感器,一般由發(fā)送器、接收器和檢測(cè)電路三部分組成,工作原理是先把被測(cè)量的變化轉(zhuǎn)換成光信號(hào)的變...
不同類型的振動(dòng)傳感器比較測(cè)試結(jié)果
在高級(jí)狀態(tài)監(jiān)測(cè)和預(yù)測(cè)性維護(hù)中,振動(dòng)傳感器起著至關(guān)重要的作用。本文我們將介紹不同加速度計(jì)設(shè)計(jì)的利弊。 數(shù)字化正在給工業(yè)領(lǐng)域帶來(lái)巨大變革,無(wú)論是制造業(yè)、公用...
2021-02-22 標(biāo)簽:mems壓電傳感器振動(dòng)傳感器 4783 0
市場(chǎng)上常見(jiàn)的MEMS氣體傳感器類型
在物聯(lián)網(wǎng)的推動(dòng)下,氣體傳感器的應(yīng)用日益廣泛,逐漸向小型化、集成化、模塊化、智能化方向發(fā)展。其中,具有代表性的基于金屬氧化物半導(dǎo)體敏感材料的氣體傳感器已廣...
諧振密度傳感器的應(yīng)用利用諧振進(jìn)行密度測(cè)量的原理
簡(jiǎn)介: 本文主要介紹了一種應(yīng)用諧振原理進(jìn)行測(cè)量的密度測(cè)量方法,詳細(xì)的分析了這種密度測(cè)量方法的優(yōu)缺點(diǎn)所在 ? 1. 利用諧振進(jìn)行密度測(cè)量的原理 諧振密度傳...
一文知道MEMS流量傳感器的應(yīng)用領(lǐng)域
近年來(lái),微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)為生產(chǎn)不同用途的流量傳感器提供了廣闊的機(jī)會(huì)。MEMS是在對(duì)硅和鍺壓阻能力進(jìn)行研究之后于1960年代首次提出的。
光聲效應(yīng)(photoacousticeffect)在19世紀(jì)被發(fā)現(xiàn),它可以將光轉(zhuǎn)換成聲音。當(dāng)物質(zhì)受到周期性強(qiáng)度調(diào)制的光照射時(shí),產(chǎn)生聲信號(hào)的現(xiàn)象。
測(cè)量范圍的最差情況是在最高頻率時(shí),ADXL357的±40 g范圍似乎能夠測(cè)量很大一部分的ISO-10816-1相關(guān)振動(dòng)模式。
LiDAR如何構(gòu)建3D點(diǎn)云?如何利用LiDAR提供深度信息
我們可通過(guò)傳感技術(shù)來(lái)獲取有關(guān)周?chē)h(huán)境的信息,從而使我們的日常生活受益:提高任務(wù)效率,增強(qiáng)安全性,或純粹出于娛樂(lè)目的。LiDAR是這樣一種傳感技術(shù),使用激...
如何將二氧化碳傳感器設(shè)計(jì)到用于物聯(lián)網(wǎng)(IoT)的智能設(shè)備
要確保室內(nèi)空氣質(zhì)量高,首先要了解空氣中的物質(zhì),以便您可以識(shí)別污染源,然后對(duì)付這些污染源或相應(yīng)地消除它們。智能建筑的空氣質(zhì)量傳感器系統(tǒng)利用了人工智能(AI...
2021-04-25 標(biāo)簽:傳感器mems物聯(lián)網(wǎng) 2442 0
如何通過(guò)傳感器檢測(cè)到能量并啟動(dòng)麥克風(fēng)
Vesper透露了“首款可商用的靜態(tài)感應(yīng)MEMS器件”,該器件提出了一種依靠聲能將自己拉出省電模式的器件。Vesper首席執(zhí)行官M(fèi)att Crowley...
2021-05-04 標(biāo)簽:放大器mems智能揚(yáng)聲器 5063 0
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