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標簽 > mems
微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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采用MEMS傾角傳感器實現(xiàn)傾角測量系統(tǒng)的軟硬件設計
在地質石油勘探、設備安裝、道路橋梁建設等工程應用以及機器人控制、坦克和艦船火炮平臺控制、飛機姿態(tài)控制等系統(tǒng)的自動 水平調節(jié)中,都需要高精度的傾角測量。但...
2020-08-22 標簽:傳感器mems測量系統(tǒng) 3246 0
基于MEMS加速度計實現(xiàn)動態(tài)傾角測量系統(tǒng)的設計
基于MEMS加速度計的傾角測量模塊具有體積小、質量輕、成本低、抗沖擊、可靠性高等優(yōu)點。對有加速度干擾下的傾角測量存在較大誤差,本文圍繞這一誤差產(chǎn)生的來源...
2020-08-05 標簽:mems電機測量系統(tǒng) 3327 0
基于MEMS和單片機實現(xiàn)慣性測量組件的數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)的設計
首先簡介ADISl6355AMLZ型MEMS的原理、構成及應用。在此基礎上,搭建一個硬件平臺,采用內(nèi)置USB控制器的AT89C513lA型單片機作為主控...
2020-07-31 標簽:單片機mems數(shù)據(jù)采集 1040 0
低成本的GPS干擾和欺騙技術的可用性使得僅GPS的定位和導航解決方案對于在戰(zhàn)場環(huán)境中的士兵而言,成為日益危險的選擇。
MEMS振蕩器、諧振器和時鐘產(chǎn)品是計時市場中新的、迅速成長的一部分。這些產(chǎn)品正在取代傳統(tǒng)的石英和時鐘芯片,它在單芯片上結合了上述兩者的功能。不但如此,同...
MEMS傳感器行業(yè)是一個新興的行業(yè),在中國商業(yè)化的時間不到10年,而在全球也只有20余年的產(chǎn)業(yè)化歷程。
MEMS麥克風為中國精密制造產(chǎn)業(yè)帶來發(fā)展機遇
MEMS產(chǎn)品是指尺寸在毫米級甚至微米級的微型機電裝置,主要分為微型傳感器(如MEMS麥克風和壓力傳感器)和微型執(zhí)行器(如MEMS揚聲器)兩大類。
傳感技術通過先進精確的定位/運動檢測,幫助用戶在虛擬空間中獲得現(xiàn)實的體驗感。TDK最新的AR/VR系統(tǒng)使用飛行時間(ToF)技術來測量與某個物體的距離,...
二十年前,專門研究射頻電路的工程師設想了一種“理想的開關”。這種開關“打開”時,它將具有超低電阻,“關閉”時將具有超高電阻等等。
硬件,尤其是MEMS傳感器,仍將會是終端裝置中不可或缺的部份,但展望未來,軟件在為用戶帶來價值方面也扮演同樣重要的角色。
MEMS,微機電系統(tǒng),是1959年12月由理查德·費曼最早提出的概念,是將微觀模擬機械元件機構、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號處理和控制電路。
傳統(tǒng)機械加工方法指利用大機器制造小機器,再利用小機器制造微機器??梢杂糜诩庸ひ恍┰谔厥鈭龊蠎玫奈C械裝置,例如微型機械手、微型工作臺等。
MEMS技術是隨著集成電路,尤其是超大規(guī)模集成電路發(fā)展起來的一門新技術,經(jīng)過幾代科學家的努力,MEMS如今在不同的行業(yè)和不同的領域相繼規(guī)?;a(chǎn),展現(xiàn)了...
MEMS硅晶振采用硅為原材料,采用先進的半導體工藝制造而成。因此在高性能與低成本方面,有明顯于石英的優(yōu)勢。
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