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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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壓力傳感器在液壓系統(tǒng)中主要是來完成力的閉環(huán)控制。當(dāng)控制閥芯突然移動(dòng)時(shí),在極短的時(shí)間內(nèi)會(huì)形成幾倍于系統(tǒng)工作壓力的尖峰壓力。在典型的行走機(jī)械和工業(yè)液壓中,如...
關(guān)于微慣性器件MEMS與ASIC系統(tǒng)集成關(guān)鍵技術(shù)的分析
MCM方案主要通過金絲鍵線或倒裝焊的方式實(shí)現(xiàn)MEMS結(jié)構(gòu)與ASIC系統(tǒng)的集成,與PCB方案相比,除了大幅改善SWaP指標(biāo)之外,還能縮短信號(hào)路徑、減小寄生...
基于MEMS技術(shù)的機(jī)器健康解決方案 全面催動(dòng)全球走向工業(yè) 4.0
全球工業(yè)正迎來新一輪變革。無(wú)論是德國(guó)提出的“工業(yè)4.0”,美國(guó)的“工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)”,還是中國(guó)的“中國(guó)制造2025”,三者本質(zhì)上都指向一個(gè)核心——智能制造。
日本TDK公司推出了基于MEMS超聲波技術(shù)的ToF傳感器解決方案
日本 TDK 的 MEMS 超聲波技術(shù)利用 3.5mm x 3.5mm 封裝的自研 ToF 傳感器,在定制級(jí)低功耗混合信號(hào) CMOS ASIC 上結(jié)合 ...
2019-10-15 標(biāo)簽:memsTDK超聲波技術(shù) 4514 0
據(jù)了解,由于傳感器設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單、堅(jiān)固、高效,采用了超材料,可省去NDIR氣體傳感器中的一個(gè)主要成本因素:介質(zhì)濾波器,同時(shí),還可減小設(shè)備的尺寸以及能量消耗?;?..
SMI推出的MEMS低壓傳感器系列產(chǎn)品SM9541介紹
基于該芯片的特有的復(fù)合壓力儀表產(chǎn)品可提供最佳的信號(hào)分辨率和診斷功能。14位分辨率和1%精度為用戶帶來高性能,每年0.2%的滿量程漂移穩(wěn)定性可為重要的保健...
Blast Motion的高精度運(yùn)動(dòng)傳感器產(chǎn)品Blast Baseball介紹
Blast Motion的高精度運(yùn)動(dòng)傳感器重量不足1盎司,且防塵、防震、防水,可貼在任何一種棒球桿的末端。在比賽過程中,Bluetooth? 智能無(wú)線通...
2019-09-11 標(biāo)簽:mems意法半導(dǎo)體運(yùn)動(dòng)傳感器 1785 0
意法半導(dǎo)體推出的9軸運(yùn)動(dòng)位置傳感器LSM9DS1模塊介紹
意法半導(dǎo)體執(zhí)行副總裁兼模擬產(chǎn)品、MEMS及傳感器產(chǎn)品事業(yè)總經(jīng)理Benedetto Vigna表示:“這款高性能9軸微型模塊基于我們最新的MEMS技術(shù),讓...
2019-10-04 標(biāo)簽:mems意法半導(dǎo)體位置傳感器 5852 0
使用 MEMS 射頻開關(guān)解決高級(jí)無(wú)線應(yīng)用的設(shè)計(jì)和集成問題
在千兆赫以上頻段的射頻設(shè)計(jì),以及建立模型和 S 參數(shù)用于仿真時(shí),合適的評(píng)估板是必要的設(shè)計(jì)工具,因?yàn)椴淮嬖谕昝赖哪P停膊豢赡茏プ?shí)際設(shè)計(jì)中所有瑣碎細(xì)節(jié)
MEMS麥克風(fēng)的內(nèi)部組成及應(yīng)用優(yōu)勢(shì)分析
MEMS(微型機(jī)電系統(tǒng)) 麥克風(fēng)是基于MEMS技術(shù)制造的麥克風(fēng),簡(jiǎn)單的說就是一個(gè)電容器集成在微硅晶片上,使用表貼工藝貼裝到電路板上并搭配合適的ASIC,...
MEMS陀螺儀采用的是依賴于相互正交的震動(dòng)和轉(zhuǎn)動(dòng)引起的交變科里奧利力。
波束成形陣列若包含多個(gè) MEMS 麥克風(fēng),則可以通過增強(qiáng)某一方向的聲音并衰減其他方向的聲音來克服這一問題。該方法將麥克風(fēng)信號(hào)疊加,借由延遲插入、放大和濾...
基于MEMS技術(shù)的新一代傳感器與診斷預(yù)測(cè)應(yīng)用的先進(jìn)算法相結(jié)合,擴(kuò)大了測(cè)量各種機(jī)器和提高能力的機(jī)會(huì),有助于高效監(jiān)控設(shè)備,延長(zhǎng)正常運(yùn)行時(shí)間,增強(qiáng)過程質(zhì)量,提升產(chǎn)量。
2019-06-17 標(biāo)簽:傳感器mems半導(dǎo)體技術(shù) 1563 0
卡西歐早年就以電機(jī)馬達(dá)、繼電器等機(jī)電產(chǎn)品聞名。如今的卡西歐本身就是MEMS的制造商之一,用MEMS的思路解決傳統(tǒng)機(jī)械手表遇到的問題是卡西歐的拿手好戲。所...
自動(dòng)駕駛技術(shù)IMU的基礎(chǔ)知識(shí)和應(yīng)用場(chǎng)景
我們經(jīng)常會(huì)看到DOF,自由度的概念, 今天我們就從DOF開始進(jìn)一步理解IMU的基礎(chǔ)知識(shí)和應(yīng)用場(chǎng)景。
2019-06-01 標(biāo)簽:MEMSIMU自動(dòng)駕駛 8342 0
醫(yī)學(xué)傳感器技術(shù)把握了現(xiàn)代健康設(shè)備的脈動(dòng)
在更接近患者的傳感器層面,MEMS、納米技術(shù)、超低功耗傳感器、無(wú)線充電和新通信協(xié)議的持續(xù)發(fā)展都會(huì)產(chǎn)生重大影響。此外,醫(yī)療設(shè)備設(shè)計(jì)人員正在關(guān)注傳感器融合和...
i-MN:推動(dòng)MEMS外觀檢測(cè)系統(tǒng)的主要因素是什么?
HA:MEMS包含各種可動(dòng)元件并且需要各種檢測(cè)工藝。對(duì)于不同的檢測(cè)工藝通常需要多個(gè)步驟,而在產(chǎn)線中具有縮減檢測(cè)過程的需求。ViSCO實(shí)現(xiàn)了這一目標(biāo),提供...
2019-04-27 標(biāo)簽:半導(dǎo)體mems光學(xué)識(shí)別 3459 0
單電容傳感器的一個(gè)極板固定,稱為靜極板,另一極板與被測(cè)物體連接為動(dòng)極板。差分電容傳感器的上下極板均固定,稱為靜極板,中間極板為動(dòng)極板。當(dāng)被測(cè)物體移動(dòng)時(shí)動(dòng)...
深入了解工業(yè)應(yīng)用的高性能RF MEMS開關(guān)
當(dāng)柵極和源極之間的偏置電壓超過開關(guān)閾值電壓時(shí),梁上的觸點(diǎn)便接觸漏極,源極和漏極之間的電路閉合,開關(guān)接通。移除偏置電壓后,即柵極上為0V時(shí),懸臂梁像彈簧一...
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