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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
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基于MEMS技術(shù)的微型光束操縱器件有望實現(xiàn)更輕、更低成本的激光雷達
“機器人和無人機是絕對可能的應(yīng)用領(lǐng)域,”Gylfason說,“目前的激光雷達系統(tǒng)對于自動駕駛汽車而言成本過于高昂,而汽車產(chǎn)業(yè)對成本非常敏感。其他可能的應(yīng)...
基于MEMS技術(shù)的微型硅基聲吶器件提供了毫米級精度的距離傳感功能
超低功耗的片上系統(tǒng)(SoC)控制整個ToF處理過程:發(fā)送超聲波脈沖,將接收的超聲回波數(shù)字化,檢測ToF到最近目標(biāo)并通過I2C返回16位ToF信號。SoC...
MEMS實現(xiàn)了具有感知、控制和執(zhí)行能力的增強型微系統(tǒng)
SMART Microsystems公司的Apanius認為,基于MEMS的小型化解決方案將繼續(xù)推動市場發(fā)展?!斑@是SMART Microsystems...
ADI公司推出了一款雙軸傾斜計傳感器能提供出小于0.1度線性傾斜誤差
ADIS16209作為業(yè)界最精密的微電子機械系統(tǒng)(MEMS)傾斜計,提供小于0.1度線性傾斜誤差的全補償直接角度輸出,從而使其精度提高到至少是同類傾斜傳...
美國國家標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)研究院將采用非接觸式光學(xué)儀器來檢測MEMS的結(jié)構(gòu)
美國國家標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)研究院把非接觸式光學(xué)測量儀器連接在一個基于互聯(lián)網(wǎng)的MEMS計算器上。利用簡單有效的光學(xué)干涉儀。這個方法使得工程師在光學(xué)干涉儀中插入測量值...
MEMS傳感器將迎來新的浪潮!MEMS定義與應(yīng)用
受惠于2007 年蘋果手機和任天堂Wii 游戲機的誕生,MEMS 在消費電子領(lǐng)域迎來噴薄式的發(fā)展。iPhone 6S 包含加速度計、電子羅盤、陀螺儀、M...
2019-04-02 標(biāo)簽:傳感器mems機電系統(tǒng) 8643 0
電子工程師年輕創(chuàng)新者在“音樂的音符”中實現(xiàn)靈魂跳動
在伯克利學(xué)習(xí)微機電系統(tǒng)工程博士學(xué)位期間,Ernest不僅專注于學(xué)業(yè),開始專注于射頻MEMS。他在黎明時分在MEMS實驗室開始他的一天,經(jīng)常整天待在實驗室...
通過傳感器實現(xiàn)嵌入式自主檢測系統(tǒng)的振動監(jiān)控
現(xiàn)在,傳感器和傳感器處理方面的技術(shù)發(fā)展可實現(xiàn)完全嵌入式自主檢測系統(tǒng)的部署,并且能夠可靠地對設(shè)備缺陷、不平衡、性能變化以及其他異常進行檢測和分析,如圖1所示。
TDK推出的全球第一款MEMS超聲波飛行時間傳感器的詳細資料說明
基于 MEMS 的微型“硅芯片聲吶”裝置提供了毫米級精度的距離傳感功能,并具有業(yè)內(nèi)最低的功耗。這種 MEMS 超聲波傳感器可用于距離測量、位置追蹤、人員...
最新傳感器技術(shù):MEMS陀螺儀在任何情況下都能精確的慣性傳感
為了滿足這一需求,ADI公司開發(fā)了一種帶有集成信號調(diào)理功能的新型高溫MEMS陀螺儀, ADXRS645。該傳感器即使在存在沖擊和振動的情況下也能實現(xiàn)精確...
2019-04-10 標(biāo)簽:mems 4719 0
對MEMS工藝技術(shù)的投資加上設(shè)計創(chuàng)新,已大大改善MEMS性能,使得MEMS足以成為更廣泛狀態(tài)監(jiān)控應(yīng)用的可行選擇
2019-04-10 標(biāo)簽:mems 2754 0
北京康斯特儀表科技股份有限公司(以下簡稱“公司”、“本公司”或“康斯特”)于2017年8月15日召開的第四屆董事會第二次會議審議通過了《關(guān)于投資建設(shè)儀器...
顧杰斌團隊研發(fā)的MEMS-Casting?技術(shù)實現(xiàn)了MEMS和鑄造的完美結(jié)合
MEMS技術(shù)與鑄造的結(jié)合,緣自它們之間的一個共通點:兩者都是機械部件制造技術(shù),區(qū)別在于尺度上存在幾個數(shù)量級差異。相對于其他機械加工方法,例如車,銑,拋等...
淺析pMEMS振蕩器用于工業(yè)頻率控制的設(shè)計
從消費類多媒體產(chǎn)品到工業(yè)自動化和監(jiān)視系統(tǒng)、網(wǎng)絡(luò)和通信基礎(chǔ)設(shè)施以及堅固的軍用設(shè)備,所有數(shù)字電子產(chǎn)品都有一個滴答作響的“心臟”,即一個準(zhǔn)確的振蕩器。歷史上,...
近日,意法半導(dǎo)體(ST)在上海召開媒體溝通會,ST模擬、MEMS及傳感器事業(yè)部副總裁兼MEMS傳感器產(chǎn)品部總經(jīng)理Andera ONETTI表示,對于整個...
美國模擬器件公司ADI推出了一款多軸運動傳感器ADIS16355
ADIS16355可以很容易地與工業(yè)系統(tǒng)設(shè)計融為一體,通過精確的運動分析與控制,提高系統(tǒng)性能,并使設(shè)計人員的研制時間縮短長達一年。新的慣性測量裝置擴展了...
本文介紹ADI公司突破性的微機電系統(tǒng)(MEMS)開關(guān)技術(shù)。與傳統(tǒng)機電繼電器相比,ADI公司的MEMS開關(guān)技術(shù)使RF和DC開關(guān)性能、可靠性及小型化實現(xiàn)了跨...
加速度是描述物體速度變化快慢的物理量,通過測量由于重力引起的加速度,你可以計算出設(shè)備相對于水平面的傾斜角度。通過分析動態(tài)加速度,你可以分析出設(shè)備移動的方式。
“傾角傳感器”顧名思義,就是測量傾斜角度的一種角度傳感器。傾角傳感器應(yīng)用場所極多,隨著MEMS技術(shù)的發(fā)展,傾角傳感器得到越來越廣泛的應(yīng)用。適合應(yīng)用于工廠...
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