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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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該傳感器模塊基于世界領先的MEMS技術和電通緯創(chuàng)十幾年的大規(guī)模IC封測生產(chǎn)制造經(jīng)驗和專業(yè)知識。
靜電力是另一種可能引起粘附的作用力。在靜電驅(qū)動或摩擦的作用下,殘余電荷會集聚在MEMS器件中的絕緣部件或絕緣層上,例如:氧化硅或氮化硅絕緣層和疏水涂層等...
新型 MEMS 能量采集器的采集原理如圖 2 所示。駐極體電路的電容是固定的(Cfix),而 MEMS 可調(diào)電容器(CM)的電容根據(jù)彈簧的拉伸(由外部振...
2019-02-14 標簽:電容器mems物聯(lián)網(wǎng) 4949 0
國內(nèi)外RF MEMS廠商大盤點 5G對我國的RF MEMS廠商來說是機遇也是挑戰(zhàn)
射頻微機電系統(tǒng)(RF MEMS)是MEMS技術的重要應用領域之一,也是二十世紀九十年代以來MEMS領域的研究熱點。RF MEMS用于射頻和微波頻率電路中...
MEMS技術是隨著半導體集成電路微細加工技術和超精密機械加工技術的發(fā)展而發(fā)展起來的,它開辟了一個全新的技術領域和產(chǎn)業(yè),其目標是把信息的獲取、處理和執(zhí)行集...
全球?qū)Ш叫l(wèi)星系統(tǒng) (GNSS) 非常有用,能夠定位全球任意位置已正確啟用此功能的系統(tǒng),但僅僅使用 GNSS 接收器進行定位也存在一些問題。使用慣性測量裝...
工業(yè)4.0和工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)(IIoT)等計劃正在幫助制造企業(yè)提高生產(chǎn)流程的效率。基于云的分析應用程序負責整理和提供運行生產(chǎn)或制造操作的許多不同方面的上下文。...
有許多因素導致加速度計技術的快速發(fā)展。首先是這類設備的市場不斷擴大,特別是在汽車,消費品和醫(yī)療電子產(chǎn)品領域,加速度計可以實現(xiàn)幫助產(chǎn)品在市場上取得成功的新...
MEMS傳感器徹底改變了我們與日常技術互動的方式,使其更容易,更便于用戶使用。 MEMS傳感器提供諸如2軸和3軸線性加速度計以及單軸和多軸陀螺儀等功能S...
微型干簧開關已經(jīng)實現(xiàn)了各種各樣的應用,要求高可靠性,小尺寸和低成本。簡單地說,微機械加工技術是利用半導體制造設備以創(chuàng)造微機械的方式為特定目的服務的系統(tǒng)。...
超聲波MEMS傳感器SPM0404UD5的性能優(yōu)勢和實用性可能性
超聲波被定義為上面的循環(huán)聲壓力人類聽覺的頻率限制,大約20 kHz。這是超聲波最明顯的特征,但不一定是最重要的。根據(jù)應用要求,用戶可能還會關注:
開發(fā)和評估板和套件是設計工程師工具箱的重要組成部分,這些產(chǎn)品在微控制器(MCU)領域非常重要,可以作為了解新處理器架構(gòu)和快速啟動開發(fā)的一種方式。雖然大多...
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