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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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微流控技術是下一代醫(yī)療診斷顛覆性技術,聚合物的微加工方法
然而對于微尺度結構的加工,尤其是高深寬比結構的填充,注塑成型通常做的不如熱壓成型填充率高,對于微結構的填充最有效的辦法是使用變模溫注塑技術,即在一個循環(huán)...
實際上,早在1951年,Chang和Read就在金鎳合金中觀察到了形變再加熱能變回原形的這一奇特的現(xiàn)象。Buehler在上世紀60年代發(fā)現(xiàn)了NiTi合金...
MEMS壓阻式加速度傳感器的敏感元件由彈性梁、質量塊、固定框組成。壓阻式加速度傳感器實質上是一個力傳感器,他是利用用測量固定質量塊在受到加速度作用時產(chǎn)生...
NIR光譜分析在農(nóng)業(yè)和食品行業(yè)應用領域內的效用
光譜分析是一種測量技術;它通過測量材料與不同波長光的相互作用情況來檢查材料的屬性。有幾種不同的交互作用可被測量,包括材料對光的吸收、反射和透射。
狀態(tài)監(jiān)控中的MEMS加速度計的介紹和應用范圍
如今的MEMS設備可包括大量集成、單電壓信號調理電子器件,提供具有極低功耗的模擬和數(shù)字接口來幫助實現(xiàn)電池供電的無線產(chǎn)品。
2018-04-30 標簽:MEMS加速度計狀態(tài)監(jiān)控 4718 0
MEMS封裝技術進行探討研究與MEMS器件封裝優(yōu)勢
微機電系統(tǒng)是按照功能在芯片上的集成,尺寸一般是在毫米以下,制作工藝更加精密,需要更高的技術,微機電系統(tǒng)早在國外就有應用,我國起步晚,在MEMS方面的投入...
Mentor Graphics的Tanner EDA軟件,針對定制IC、AMS和MEMS設計
Mentor Graphics的Tanner EDA軟件是一套針對定制集成電路(IC)、模擬/混合信號(AMS)和MEMS設計的產(chǎn)品。對物聯(lián)網(wǎng)(IoT)...
高速的光網(wǎng)絡使世界各地的人們得以即時交流和分享想法。微小的MEMS光開關在這些數(shù)量龐大的光纖系統(tǒng)中發(fā)揮著重要作用。此類開關涉及機械、光學和電氣三個領域,...
其實,我們身邊不乏這樣的“黃金芯片”,ADI 發(fā)布的 RF MEMS 開關再次將黃金的優(yōu)良金屬性能在芯片中的應用發(fā)揮到極致。我們不妨來看看這些黃金造的芯...
許多應用需要能在125℃以上環(huán)境下工作的信號處理解決方案,但對于采用標準設計的集成電路其最高工作溫度通常僅規(guī)定為125℃。無論是在地下一英里處操縱油鉆還...
電子束蒸鍍利用電磁場的配合可以精準地實現(xiàn)利用高能電子轟擊坩堝內膜材,使膜材表面原子蒸發(fā)進而沉積在基片上;以FATRI UTC電子束蒸鍍機在MEMS制造過...
近年來,隨著人們對家庭及辦公場所要求的不斷提高,在創(chuàng)造智能家居環(huán)境的同時還要充分考慮節(jié)能環(huán)保的問題。以智能照明為例,在國家大力推動節(jié)能減排的背景下,實現(xiàn)...
MEMS的全稱是微型電子機械系統(tǒng)(Micro-ElectroMechanical System),相對于傳統(tǒng)的機械,它們的尺寸更小,最大的不超過一個厘米...
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