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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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單片集成MEMS-IC圓片級(jí)真空封裝方應(yīng)用設(shè)計(jì)
慣性MEMS三維集成TSV互連技術(shù)通過(guò)提供垂直貫穿慣性MEMS芯片或MEMS專(zhuān)用集成電路IC芯片的TSV互連為兩者層疊式立體化集成提供了便利。
有淺入深的介紹BLE與MEMS中的開(kāi)發(fā)板設(shè)計(jì)
當(dāng)BLE遇到MEMS,就如同天使有了翅膀。本期從有淺入深的介紹BLE與MEMS的那些事,就從ST的STEVA
基本平臺(tái)穩(wěn)定系統(tǒng)中MEMS IMU頻率響應(yīng)分析
無(wú)人飛行器安裝的監(jiān)控設(shè)備、海上微波接收機(jī)、車(chē)輛安裝的紅外成像系統(tǒng)傳感器以及其他儀器系統(tǒng)都需要具有穩(wěn)定的平臺(tái),
世健結(jié)合MEMS技術(shù)的紅外光源和傳感器的紅外氣體檢測(cè)方案
使用的紅外光源EMIRS 50是通過(guò)緊湊的TO-46封裝,它可以提供帶保護(hù)帽或者帶反射面,這些結(jié)構(gòu)可以配置藍(lán)寶石或氟化鈣、氟化鋇和鍺等材料的濾光片。
前言定位是感知應(yīng)用的一個(gè)重要屬性。在室內(nèi)環(huán)境中,如果位置信息可用并非??煽?,有更多的應(yīng)用場(chǎng)景可以實(shí)現(xiàn)的。行人航位推算(PDR) 就是這樣一種技術(shù),在室內(nèi)...
了解IMU帶寬及其在系統(tǒng)穩(wěn)定性中的應(yīng)用
無(wú)人飛行器安裝的監(jiān)控設(shè)備、海上微波接收機(jī)、車(chē)輛安裝的紅外成像系統(tǒng)傳感器以及其他儀器系統(tǒng)都需要具有穩(wěn)定的平臺(tái),以達(dá)到最佳性能,但它們通常在可能遇到振動(dòng)和其...
基本平臺(tái)穩(wěn)定系統(tǒng)中MEMS IMU頻率響應(yīng)分析
無(wú)人飛行器安裝的監(jiān)控設(shè)備、海上微波接收機(jī)、車(chē)輛安裝的紅外成像系統(tǒng)傳感器以及其他儀器系統(tǒng)都需要具有穩(wěn)定的平臺(tái),
微流控(microfluidics)是一種精確控制和操控微尺度流體, 以在微納米尺度空間中對(duì)流體進(jìn)行操控為主要特征的科學(xué)技術(shù),具有將生物、化學(xué)等實(shí)驗(yàn)室的...
意法半導(dǎo)體為研發(fā)組織提供意法半導(dǎo)體THELMA MEMS制程
CMP是為集成電路(IC)和微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)設(shè)計(jì)公司提供芯片設(shè)計(jì)/開(kāi)發(fā)和小批量制造服務(wù)的中介機(jī)構(gòu),承接大專(zhuān)院校、研究實(shí)驗(yàn)室和企業(yè)委托的電路制造服務(wù)。
2018-03-12 標(biāo)簽:mems意法半導(dǎo)體cmp 1274 0
所有MEMS麥克風(fēng)都具有全向拾音響應(yīng),也就是能夠均等地響應(yīng)來(lái)自四面八方的聲音。多個(gè)麥克風(fēng)可以配置成陣列,形成定向響應(yīng)或波束場(chǎng)型。經(jīng)過(guò)設(shè)計(jì),波束成形麥克風(fēng)...
本文提出了一種基于MEMS工藝的LED芯片封裝技術(shù),利用Tracepro軟件仿真分析了反射腔的結(jié)構(gòu)參數(shù)對(duì)LED光強(qiáng)的影響,通過(guò)分析指出。利用各向異性腐蝕...
在亞毫米波頻段,相比較于微波毫米波頻段,由于頻率更高、波長(zhǎng)更短,因而相應(yīng)的器件尺寸更小。而天線作為尺寸和波長(zhǎng)大小密切相關(guān)的器件,在亞毫米波頻段的設(shè)計(jì)具有...
射頻MEMS開(kāi)關(guān)技術(shù)的最新進(jìn)展解析
由于MEMS開(kāi)關(guān)是采用半導(dǎo)體制造工藝制成的,因此它們采用表面安裝之類(lèi)的封裝技術(shù)能夠?qū)崿F(xiàn)極小的外形尺寸。采用已有的批量制造技術(shù),并且積極改進(jìn)工藝從而在產(chǎn)量...
分布式能源微網(wǎng)控制保護(hù)和能量管理解決方案
微網(wǎng)是指能實(shí)現(xiàn)自我控制、保護(hù)和管理的,自制的微型電網(wǎng)系統(tǒng),其既可并入大電網(wǎng)運(yùn)行,又能脫離大電網(wǎng)獨(dú)立運(yùn)行。微網(wǎng)的出現(xiàn)源于分布式新能源的發(fā)展和能源高效利用的...
狹窄的傳聲孔與空心腔室相連構(gòu)成的結(jié)構(gòu)在受到聲波激勵(lì)時(shí)會(huì)產(chǎn)生聲學(xué)諧振。當(dāng)我們對(duì)著空瓶的瓶嘴上方吹氣時(shí),就會(huì)發(fā)生這種諧振現(xiàn)象。這種結(jié)構(gòu)叫做Helmholtz...
Mic roVision 公司系統(tǒng)工程與先進(jìn)應(yīng)用部門(mén)總監(jiān)Jari Honkanen,他向我介紹了MicroVision公司發(fā)明的令人稱(chēng)奇的MEMS移動(dòng)鏡技術(shù)。
2018-02-08 標(biāo)簽:MEMS 2363 0
詳解ADI的MEMS開(kāi)關(guān)技術(shù)
在過(guò)去的30年間,MEMS開(kāi)關(guān)被一致認(rèn)為是性能有限的機(jī)電式繼電器的優(yōu)越取代品。 透過(guò)易于使用、能夠以損失最小的情況下,可靠的進(jìn)行從0 Hz/dc至數(shù)百G...
MEMS的含義、構(gòu)成、優(yōu)勢(shì)、市場(chǎng)規(guī)模預(yù)測(cè)、產(chǎn)業(yè)鏈相關(guān)企業(yè)簡(jiǎn)介
MEMS,(Micro-Electro Mechanical Systems),也稱(chēng)為微電子機(jī)械系統(tǒng)、微電機(jī)系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技...
量子傳感器的概念與現(xiàn)狀、性能分析以及市場(chǎng)應(yīng)用
子理論的創(chuàng)立是 20 世紀(jì)最輝煌的成就之一 ,它揭示了微觀領(lǐng)域物質(zhì)的結(jié)構(gòu) 、性質(zhì)和運(yùn)動(dòng)規(guī)律,把人們的視角從宏觀領(lǐng)域引入到微觀系統(tǒng) 。一系列區(qū)別于經(jīng)典系統(tǒng)...
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