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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
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日本開發(fā)一種監(jiān)測系統(tǒng) 通過MEMS傳感器和無線技術(shù)實現(xiàn)建筑物結(jié)構(gòu)監(jiān)測
該建筑物結(jié)構(gòu)監(jiān)測系統(tǒng)通過新開發(fā)的高精度MEMS傳感器,并結(jié)合920MHz頻段的無線技術(shù),可以實現(xiàn)長期的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性監(jiān)測。
汽車內(nèi)的顯示和信息系統(tǒng)非常豐富,層出不窮地包圍著我們,有些信息非常重要,有些則是為了舒適性或娛樂,有的則僅僅是提供資訊,這很有價值,但又非必需。
SiTime推出MEMS參考時鐘支持新物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用所需的最佳尺寸、功耗和精度
SiTime市場部執(zhí)行副總裁Piyush Sevalia指出:“SiTime獨到的時序產(chǎn)品致力于為最嚴峻挑戰(zhàn)的設(shè)計提供解決方案。伴隨著物聯(lián)網(wǎng)的快速發(fā)展,...
2018-02-02 標簽:mems物聯(lián)網(wǎng)sitime 6181 0
SiTime推出新型振蕩器 進一步向無人駕駛汽車的領(lǐng)域進軍
MEMS振蕩器領(lǐng)域的行業(yè)龍頭企業(yè)SiTime Corporation宣布面向高級駕駛輔助系統(tǒng)(ADAS)中的汽車網(wǎng)絡(luò)應(yīng)用方向推出新型振蕩器。這些解決方案...
超小型MEMS原子鐘誕生,用于智能手機、傳感器網(wǎng)絡(luò)和機器人控制系統(tǒng)
據(jù)報道,日本國家信息與通信研究院(NICT)與東北大學(xué)和東京工業(yè)大學(xué)展開合作,并成立壓電材料相關(guān)研究小組。近期,該研究小組成功開發(fā)了一款超小型原子鐘系統(tǒng)...
日立新型MEMS加速度計比商用MEMS加速度計靈敏度跟高,且功耗降低50%
日立通過在MEMS質(zhì)量塊上制作貫通孔來降低空氣阻力,并且貫通孔的直徑在上層和下層之間是變化的。上層為電極部分,下層為重量較大的運動層。上述方法可將空氣阻...
TU Wien開發(fā)一款硅基MEMS電場測量傳感器 其優(yōu)勢是干擾正在測量的電場
MEMS電場傳感器的測量原理“目前用于測量電場強度的設(shè)備具有一些顯著的缺陷,” TU Wien傳感器和執(zhí)行器系統(tǒng)研究院的Andreas Kainz解釋稱...
基于MEMS工藝實現(xiàn)簡易快速地制備不同的微陣列結(jié)構(gòu)
當前以MEMS為基礎(chǔ)的細胞微陣列芯片受到科研人員廣泛重視。通過微加工技術(shù)在基底上構(gòu)建微尺度的圖形結(jié)構(gòu),并通過物理化學(xué)修飾對表面進行改性,使得細胞在特定區(qū)...
當傳感器未在使用時,如果應(yīng)用對傳感器周期供電以節(jié)省電能,噪聲與功耗的關(guān)系會大不相同。這種差異來源于建立時間,這可能讓有些人大吃一驚。在需要對一組連續(xù)數(shù)組...
物聯(lián)網(wǎng)是通過各種傳感技術(shù)(RFID、傳感器、GPS、攝像機、激光掃描器)、各種通訊手段(有線、無線、長距、短距),將任何物體與互聯(lián)網(wǎng)相連接,以實現(xiàn)遠程...
2018-03-12 標簽:mems物聯(lián)網(wǎng) 2392 0
在空間飛行器的慣性測量系統(tǒng),機器人的機械臂延展確定,車船體傾斜測量,巖體傾向判斷和工程鉆孔軌跡檢測等許多方面都需要測量物體的傾斜和方向等參數(shù)。
MEMS/NEMS結(jié)構(gòu)基于模板的廣度相位解包裹方法
在對微/納機電系統(tǒng)(micro/nano electro me-chanical system,MEMS/NEMS)結(jié)構(gòu)的特性參數(shù)進行測量和MEMS/N...
MEMS硅膜電容式壓力傳感器的基本原理和結(jié)構(gòu)設(shè)計
目前敏感薄膜的材料多采用重摻雜p型硅、Si3N4、單晶硅等。這幾種材料都各有優(yōu)缺點,其選擇與目標要求和具體工藝相關(guān)。硅膜不破壞晶格,機械性能優(yōu)異,適于陽...
基于MEMS技術(shù)的風(fēng)速和風(fēng)向測量傳感器設(shè)計
硅薄膜式測風(fēng)傳感器的設(shè)計示意圖如圖1所示。薄膜式風(fēng)速風(fēng)向傳感器主要是利用風(fēng)吹薄膜對薄膜產(chǎn)生風(fēng)壓,風(fēng)壓導(dǎo)致薄膜形變,薄膜上的應(yīng)變電阻就會感應(yīng)到薄膜的形變。...
MEMS開啟劃片技術(shù)新時代 濕式激光切割和干式激光切割介紹
MEMS主要包括微型機構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器和相應(yīng)的處理電路等幾部分,是在融合多種微細加工技術(shù),并應(yīng)用現(xiàn)代信息技術(shù)的最新成果的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的高科技...
MEMS IC和傳統(tǒng)IC的無縫互連集成技術(shù)
MEMS 芯片的集成通常是指電子和機械功能的集成。那么這種工藝的最終目標是什么呢?答案是:將MEMS 結(jié)構(gòu)無縫集成到與之相連的同一CMOS 芯片上。 ...
市場容量持續(xù)擴張 從加速度傳感器實現(xiàn)的功能來看,無論是國際知名品牌的手機,還是普通的手機,其主要功能是通過傾斜、晃動等動作來實現(xiàn)用戶界面控制、游戲控制...
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