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微機電系統(tǒng)（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等，是在微電子技術(shù)（半導體制造技術(shù)）基礎上發(fā)展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
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頻率信號對于所有電子產(chǎn)品就像是心跳對所有動物的生命一般重要，所有電子電路的動作都以此重復性且穩(wěn)定的頻率信號作為參考信號源。設計優(yōu)良的頻率信號，幾乎是系統(tǒng)...
2017-12-10 標簽：mems 933 0
過去，我們錯過了芯片，華為等公司被卡脖子陷入無芯可用的境地，慘痛教訓就在眼前。 ? 如今，有一項新技術(shù)，在全球風頭正勁，正在蓬勃發(fā)展，被譽為21世紀最有...
MEMS慣性導航在過去數(shù)十年內(nèi)得到了迅速發(fā)展，在無人系統(tǒng)領域內(nèi)得到了越來越多的應用，其作為未來慣性導航的主要發(fā)展方向，正在展現(xiàn)出強大的潛力以及良好的應用前景。
2020-07-14 標簽：mems無人系統(tǒng) 909 0
市場容量持續(xù)擴張 從加速度傳感器實現(xiàn)的功能來看，無論是國際知名品牌的手機，還是普通的手機，其主要功能是通過傾斜、晃動等動作來實現(xiàn)用戶界面控制、游戲控制...
MEMS技術(shù)可以被結(jié)合到各種各樣的電子部件中。生產(chǎn)這些組件的公司大概會認為MEMS實施優(yōu)于MEMS版本問世之前所使用的實施方式。
許多壓力傳感器應用都需要具有集成信號調(diào)理功能的緊湊型 MEMS 器件； 然而，挑戰(zhàn)在于找到一種能夠支持應用的體積和成本要求（包括壓力范圍方面的靈活性）的...
利用軟件驅(qū)動、安全的預測性電機維護提高生產(chǎn)力
現(xiàn)在，工業(yè)4.0（也稱為工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)或IIoT）浪潮正如火如荼，工業(yè)客戶更專注于部署解決方案以增加設備正常運行時間，降低運營成本，延長設備壽命，提高工人生...
2023-06-14 標簽：傳感器MEMS物聯(lián)網(wǎng) 889 0
MEMS麥克風為中國精密制造產(chǎn)業(yè)帶來發(fā)展機遇
MEMS產(chǎn)品是指尺寸在毫米級甚至微米級的微型機電裝置，主要分為微型傳感器（如MEMS麥克風和壓力傳感器）和微型執(zhí)行器（如MEMS揚聲器）兩大類。
MEMS加速度計通過微結(jié)構(gòu)內(nèi)發(fā)生的電容、電阻或電荷（壓電）變化來檢測機械加速度，現(xiàn)已成為僅次于壓力傳感器，應用量排名第二的MEMS器件。
基于MEMS的DMD領域內(nèi)的不斷創(chuàng)新正在為開發(fā)人員提供更多的機會，將基于投影的顯示技術(shù)融入到多種針對工業(yè)、個人電子器件、可穿戴、數(shù)字標牌和企業(yè)市場等應用中。
集成光信號分配、處理和傳感網(wǎng)絡需要小型化基本光學元件，如波導、分光器、光柵和光開關(guān)。為了實現(xiàn)這一目標，需要能夠?qū)崿F(xiàn)高分辨率制造的方法。
高壓功率放大器在MEMS微結(jié)構(gòu)模態(tài)測試靜電激勵技術(shù)中的應用
MEMS測試技術(shù)是微機電系統(tǒng)技術(shù)的重要組成部分之一，微結(jié)構(gòu)動態(tài)特性的測試對MEMS器件的性能及其設計、仿真、制造、以及質(zhì)量控制和評價等方面均具有重要的意...
微小的可變形微加工芯片邊緣微懸臂梁對于各種表面探測技術(shù)都非常有用。例如，它們是近場顯微術(shù)的關(guān)鍵元素，在近場顯微術(shù)中，它們在小撓度狀態(tài)下的力學行為被很好的...
2022-11-21 標簽：mems 844 0
近年來射頻微電子系統(tǒng)(RF MEMS)器件以其尺寸小、功耗低而受到廣泛關(guān)注，特別是MEMS開關(guān)構(gòu)建的移相器與天線，是實現(xiàn)上萬單元相控陣雷達的關(guān)鍵技術(shù)，在...
紐迪瑞首次公開發(fā)布NMP系列MEMS數(shù)字氣壓傳感器
NMP系列數(shù)字氣壓傳感器，基于MEMS技術(shù)，通過蝕刻在硅片上的高精密半導體電阻組成惠斯通電橋以作為機電變換測量電路，可用于微小壓力檢測。
淺談MEMS在狀態(tài)監(jiān)控領域的優(yōu)勢
作為一項基于固態(tài)電子器件和內(nèi)置半導體制造設施技術(shù)，MEMS向狀態(tài)監(jiān)控產(chǎn)品設計師提供了幾個極具吸引力且有價值的優(yōu)勢。撇開性能因素，我們就來說說狀態(tài)監(jiān)控領域...
2018-07-07 標簽：傳感器mems狀態(tài)監(jiān)控 829 0
亞毫米級的測量系統(tǒng)使傳感器的結(jié)構(gòu)更加緊湊。它的尺寸只有80×30×15mm，可以放入非常狹小的空間。測量值通過RS232接口和虹科TrueDyne傳感器...
本文提出了一種用于實現(xiàn)貫穿芯片互連的包含溝槽和空腔的微機械晶片的減薄方法。通過研磨和拋光成功地使晶圓變薄，直至達到之前通過深度反應離子蝕刻蝕刻的空腔。研...
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