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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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什么是先進(jìn)封裝?先進(jìn)封裝技術(shù)包括哪些技術(shù)
半導(dǎo)體產(chǎn)品在由二維向三維發(fā)展,從技術(shù)發(fā)展方向半導(dǎo)體產(chǎn)品出現(xiàn)了系統(tǒng)級封裝(SiP)等新的封裝方式,從技術(shù)實(shí)現(xiàn)方法出現(xiàn)了倒裝(FlipChip),凸塊(Bu...
當(dāng)今的科學(xué)技術(shù)如翩翩起舞的蝴蝶,追求著微型化、集成化及智能化的新境界。隨著微機(jī)電系統(tǒng)(Micro-Electro-Mechanical System,M...
一種新型的基于仿真的MEMS結(jié)構(gòu)進(jìn)化方法
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)器件具有小型化、低成本、可批量生產(chǎn)的特點(diǎn),在消費(fèi)電子、汽車電子、航空航天、醫(yī)療器械和工業(yè)控制等多個(gè)領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用
熱電堆傳感器是一種將溫度變化轉(zhuǎn)化為電能的裝置,被廣泛應(yīng)用于醫(yī)療、汽車工業(yè)、石油化工等領(lǐng)域,用來測量人體溫度、引擎溫度、燃?xì)饬髁康葦?shù)據(jù)。MEMS(Micr...
微型化、集成化及智能化是當(dāng)今科學(xué)技術(shù)的主要發(fā)展方向。隨著微機(jī)電系統(tǒng)(MicroElectroMechanicalSystem,MEMS)和微加工技術(shù)的發(fā)...
本文是關(guān)于MEMS微傳感器的工作原理最全面的內(nèi)容,分為兩部分,共計(jì)212頁P(yáng)PT內(nèi)容。 ? 主要講解了MEMS微傳感器的概念、分類,基本敏感原理介紹,M...
制造MEMS芯片需要什么工藝?對傳感器有什么影響?這次終于講明白了?。ㄍ扑])
本文整理自公眾號芯生活SEMI Businessweek中關(guān)于MEMS制造工藝的多篇系列內(nèi)容,全面、專業(yè)地介紹了MEMS芯片制造中的常用工藝情況,推薦!...
MEMS是Micro Electro Mechanical Systems(微機(jī)電系統(tǒng))的縮寫,具有微小的立體結(jié)構(gòu)(三維結(jié)構(gòu)),是處理各種輸入、輸出信號...
MEMS_慣性傳感器16-磁力計(jì)橢球擬合校準(zhǔn)步驟
磁力計(jì)橢球擬合校準(zhǔn)是一種將磁力計(jì)測量數(shù)據(jù)校準(zhǔn)到真實(shí)磁場的技術(shù)。這種技術(shù)通常使用橢球模型來擬合磁力計(jì)的測量結(jié)果,然后通過最小二乘法來找到擬合參數(shù)的最優(yōu)解。
MEMS是Micro Electro Mechanical Systems(微機(jī)電系統(tǒng))的縮寫,具有微小的立體結(jié)構(gòu)(三維結(jié)構(gòu)),是處理各種輸入、輸出信號...
看看MEMS教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室是如何介紹MEMS的?
東南大學(xué)MEMS教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室是以微電子學(xué)科為主題、結(jié)合電子工程系固體電子學(xué)研究室、工程力學(xué)系和機(jī)械工程系相關(guān)課題組,組建了跨學(xué)科的研究結(jié)構(gòu),于199...
2023-10-12 標(biāo)簽:mems 934 0
為什么硅基MEMS激光雷達(dá)無法用作汽車主雷達(dá)
雖然硅基MEMS微振鏡區(qū)別于傳統(tǒng)的金屬機(jī)械結(jié)構(gòu)部件(電機(jī)、轉(zhuǎn)子等),避免了機(jī)械式激光雷達(dá)因內(nèi)部旋轉(zhuǎn)的整體模塊體積和重量都較大引起受沖擊時(shí)慣量太大而容易致...
因?yàn)镾T選用了音叉方法設(shè)計(jì)陀螺儀,其差分特性使系統(tǒng)本身對作用在傳感器上的無用線性加速度和雜亂振動(dòng)的敏感度低于市場上現(xiàn)有的其它類型陀螺儀。當(dāng)這些無用的信號...
一文帶你詳細(xì)了解傳感器及其相關(guān)產(chǎn)業(yè)
本文來自公眾號【信熹資本】,這是一篇整理的非常細(xì)致的傳感器產(chǎn)業(yè)介紹內(nèi)容,涵蓋了傳感器的相關(guān)概念、發(fā)展歷史、分類方式、產(chǎn)業(yè)鏈和市場情況等信息。與其他籠統(tǒng)介...
MEMS 麥克風(fēng)中數(shù)字 PDM 和 I2S 接口之比較
作者:Jeff Smoot 麥克風(fēng)用在嵌入式系統(tǒng)中已經(jīng)有很多年了。然而,自其誕生以來,由于家居、汽車和可穿戴設(shè)備中基于語音的應(yīng)用范圍不斷擴(kuò)大,MEMS麥...
使用 MEMS 加速計(jì)快速部署傳感器,實(shí)現(xiàn)基于 IIoT 的預(yù)測性維護(hù)
作者:Richard A. Quinnell 使用振動(dòng)傳感器對機(jī)器進(jìn)行狀態(tài)監(jiān)測,這是工業(yè)物聯(lián)網(wǎng) (IIoT)(或工業(yè)4.0)預(yù)測性維護(hù)目標(biāo)的關(guān)鍵要素。這...
在半導(dǎo)體制造中,刻蝕工序是必不可少的環(huán)節(jié)。而刻蝕又可以分為干法刻蝕與濕法刻蝕,這兩種技術(shù)各有優(yōu)勢,也各有一定的局限性,理解它們之間的差異是至關(guān)重要的。
2023-09-26 標(biāo)簽:mems晶圓半導(dǎo)體制造 8695 1
在開關(guān)能力超過18 GHz的MEMS/NEMS RF開關(guān)選擇方面取得了一些進(jìn)展。Menlo Microsystems(通用電氣MEMS研究的商業(yè)化分拆)...
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