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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
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編者注:TSV是通過在芯片與芯片之間、晶圓和晶圓之間制作垂直導通;TSV技術(shù)通過銅、鎢、多晶硅等導電物質(zhì)的填充,實現(xiàn)硅通孔的垂直電氣互聯(lián),這項技術(shù)是目前...
北京大學在壓電MEMS領(lǐng)域取得重要進展:讓一塊壓電陶瓷實現(xiàn)了兩個馬達的驅(qū)動功能!
近日,北京大學董蜀湘教授課題組在壓電MEMS領(lǐng)域獨辟蹊徑:發(fā)明了一種壓電馬達,只需一個壓電陶瓷,就可產(chǎn)生兩個對稱驅(qū)動和實現(xiàn)兩個對稱運動輸出功能。而傳統(tǒng)上...
動作捕捉系統(tǒng)的一般性結(jié)構(gòu)主要分為三個部分:數(shù)據(jù)采集設(shè)備、數(shù)據(jù)傳輸設(shè)備、數(shù)據(jù)處理單元,慣性式動作捕捉系統(tǒng)即是將慣性傳感器應用到數(shù)據(jù)采集端,數(shù)據(jù)處理單元通過...
超級全面!一文看懂***:MEMS傳感器及芯片制造的最核心設(shè)備
文章大綱 光刻是芯片制造最核心環(huán)節(jié),大陸自給率亟待提升 ·光刻機是芯片制造的核心設(shè)備,市場規(guī)模全球第二 ·一超兩強壟斷市場,大陸卡脖子現(xiàn)象凸顯 光刻機:...
從輔助駕駛到自動駕駛: 感知型車輛建立在底層高質(zhì)量的傳感器數(shù)據(jù)基礎(chǔ)之上
這些傳感器技術(shù)包括攝像頭、激光探測與測距(LiDAR)、無線電探測與測距(radar)、微機電傳感器(MEMS)、慣性測量單元(IMU)、超聲波和GPS...
傳感器和數(shù)字技術(shù)的進步如何幫助改善患者護理
這讓我們能夠在醫(yī)院以外實施醫(yī)療監(jiān)測和檢驗,可以在本地醫(yī)療機構(gòu)(例如GP practices)或患者家中執(zhí)行。為了給患者帶來更大的便利,可穿戴設(shè)備(例如貼...
利用軟件驅(qū)動、安全的預測性電機維護提高生產(chǎn)力
現(xiàn)在,工業(yè)4.0(也稱為工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)或IIoT)浪潮正如火如荼,工業(yè)客戶更專注于部署解決方案以增加設(shè)備正常運行時間,降低運營成本,延長設(shè)備壽命,提高工人生...
2023-06-14 標簽:傳感器MEMS物聯(lián)網(wǎng) 889 0
液位測量系統(tǒng)使用補償硅壓力傳感器和Δ-Σ ADC-第1部分
該參考設(shè)計是液位測量和控制系列中的首個。在第1部分中,描述了現(xiàn)代壓力傳感器之間的差異,并強調(diào)了微機電(MEMS)溫度補償硅壓力傳感器的最新進展的好處。這...
運動五感:利用MEMS慣性感測技術(shù)實現(xiàn)應用變革
盡管MEMS(微機電系統(tǒng))技術(shù)在氣囊和汽車壓力傳感器中的應用已有大約20年,但促使大眾認識到慣性傳感器作用的是Nintendo? Wii?和Apple?...
光纖陀螺儀(FOG)以前曾經(jīng)是環(huán)形激光陀螺儀(RLG)等其他技術(shù)的低成本替代品,現(xiàn)在該技術(shù)面臨著新的競爭。微機電系統(tǒng)(MEMS)陀螺儀開始搶奪傳統(tǒng)FOG...
替代MEMS?未來20年,最具顛覆性的4大傳感器技術(shù),中國已提前布局!
在過去的20年,傳感器廠商不斷研究創(chuàng)新的測量原理和敏感材料,這些成果能讓我們用到高集成、低成本的傳感器,其中,最成功也是最具顛覆性的,無疑是MEMS技術(shù)...
物聯(lián)網(wǎng)芯片/微機電系統(tǒng)芯片測試方法
物聯(lián)網(wǎng) (IoT) 芯片主要包括傳感器芯片、嵌人式處理芯片、無線傳輸鏈接芯片等。IoT 芯片的性能/功能測試評價至關(guān)重要,已成為物聯(lián)網(wǎng)發(fā)展不可或缺的一環(huán)...
2023-06-08 標簽:芯片mems物聯(lián)網(wǎng) 1601 0
作為電子及電器產(chǎn)品質(zhì)量衡量指標之一的電磁兼容性(EMC)測試,它的測試正確與否直接關(guān)系到產(chǎn)品自身使用的可靠性及安全性,并且它還有可能對于同系統(tǒng)中的其他部...
根據(jù)被測量的介質(zhì)和組件的設(shè)計,這種類型的傳感器可能會成為由介質(zhì)本身引起的故障的受害者。 一個常見的問題是浮子吸收了它浸沒在其中的介質(zhì),這將導致人為的低液...
許多壓力傳感器應用都需要具有集成信號調(diào)理功能的緊湊型 MEMS 器件; 然而,挑戰(zhàn)在于找到一種能夠支持應用的體積和成本要求(包括壓力范圍方面的靈活性)的...
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