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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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現(xiàn)代科學(xué)發(fā)展的進(jìn)步,讓傳感器的研發(fā)應(yīng)用呈現(xiàn)多樣化趨勢
隨著現(xiàn)代科學(xué)發(fā)展,傳感技術(shù)作為一種與現(xiàn)代科學(xué)密切相關(guān)的新興學(xué)科得到迅速的發(fā)展,并在工業(yè)自動化測量和檢測、航天技術(shù)軍事工程、醫(yī)療診斷、智能交通等領(lǐng)域被越來...
基于伯努利原理的速度監(jiān)測芯片可監(jiān)控天然氣運(yùn)輸管道系統(tǒng)的泄露監(jiān)測
該MEMS傳感芯片基于伯努利原理而直接讀取運(yùn)動物體速度,既是對現(xiàn)有加速度計(jì)和陀螺儀傳感器的有力補(bǔ)充,又將開拓?cái)U(kuò)展許多新的應(yīng)用。
AEM收購Afore,通過此次并購,AEM進(jìn)一步拓展至完整的MEMS測試解決方案
AEM收購芬蘭MEMS測試解決方案領(lǐng)先供應(yīng)商Afore。通過此次并購,AEM的全球解決方案供應(yīng)能力,將從邏輯IC測試機(jī)和RF(射頻)測量測試,進(jìn)一步拓展...
2018-02-05 標(biāo)簽:icmems物聯(lián)網(wǎng) 7408 0
耐威科技:全球MEMS傳感器需求旺盛,MEMS設(shè)計(jì)及制造廠商高速增長
耐威科技稱,2017年全球MEMS代工廠營收排名中,公司全資子公司Silex超越TSMC(臺積電)、SONY(索尼),排名從2016年的第五名前進(jìn)至第三...
NB-IOT解決的是低功耗,低成本設(shè)備的連接問題,而低功耗,低成本設(shè)備的感知問題用什么解決?抓住三個關(guān)鍵詞:低功耗、低成本、感知,我認(rèn)為MEMS會是下一...
華燦光電收購美新半導(dǎo)體過會 國內(nèi)首個MEMS領(lǐng)域并購即將完成
華燦光電重組方案經(jīng)并購重組委審核獲得有條件通過,該公司從今日起復(fù)牌。2016年10月,華燦光電披露擬以16.5億元對價收購美新半導(dǎo)體100%股權(quán)。在歷時...
MEMS產(chǎn)業(yè)向多傳感器集成方向前進(jìn)狀況簡析
智能時代,傳感器作為感知特定環(huán)境的基石正變得越來越重要。當(dāng)人們被各種各樣的智能產(chǎn)品所包圍的時候,無論是消費(fèi)級
哈佛大學(xué)推出MEMS微型機(jī)器人 通用型機(jī)器人的世界最小版本
2011年,哈佛大學(xué)Wyss研究所的團(tuán)隊(duì)開發(fā)了用于微型機(jī)器人的扁平制造技術(shù),他們稱之為彈出式微機(jī)電系統(tǒng)(pop-up MEMS)制造技術(shù)。在過去的幾年中...
DiCon推出基于可調(diào)濾波技術(shù)的100GHz應(yīng)用MEMS網(wǎng)絡(luò)可調(diào)濾波器
分享到 科技飛速發(fā)展,工業(yè)產(chǎn)品“傻大笨粗”的形象將逐漸從人們視野中淡出。那么,怎樣在“高精尖特”的設(shè)計(jì)浪潮中快速小型化產(chǎn)品?今天就為大家講一講 多功能接...
哈佛大學(xué)推出MEMS微型機(jī)器人 可在拾取、包裝甚至外科手術(shù)方面提供幫助
哈佛大學(xué)過去開發(fā)的機(jī)器人Delta手臂通常用在組裝生產(chǎn)線,其速度和靈巧度決定了工作空間需要足夠大,如今哈佛大學(xué)的工程師已經(jīng)開發(fā)出這款通用型機(jī)器人的世界最...
2018年無人駕駛汽車傳感器創(chuàng)新技術(shù)展望(毫米波雷達(dá),mems和融合技術(shù))
MEMS讓無人駕駛汽車看到路面、閱讀交通標(biāo)志、檢測物體、分類、感知速度/軌跡和其他車輛,隨著自動駕駛汽車收集到所有的傳感數(shù)據(jù),最重要的就是傳感器融合的質(zhì)...
ADI RF-MEMS開關(guān)技術(shù)取代機(jī)電繼電器設(shè)計(jì)
對OEM而言,新型開關(guān)技術(shù)不僅有助于開發(fā)下一代儀器儀表,同時還能提高通道密度,加快運(yùn)行速度,延長工作壽命并降低功耗。 中國,北京 Analog Devi...
意法半導(dǎo)體談MEMS的發(fā)展 非??春闷嚭凸I(yè)
在MEMS傳感器的新聞發(fā)布會,ST談?wù)摿薓EMS的發(fā)展現(xiàn)狀,ST做了20年的MEMS 傳感器,優(yōu)勢是經(jīng)過市場檢驗(yàn)的制造技術(shù),更是集成市場領(lǐng)先者,MEMS...
2018-01-19 標(biāo)簽:mems意法半導(dǎo)體 2580 0
我國工業(yè)傳感面臨的挑戰(zhàn)和工業(yè)常用傳感器分析
傳感器技術(shù)發(fā)展迅速,探測精度提高、制作成本降低、芯片體積減小,應(yīng)用非常廣泛。傳感器技術(shù)甚至已成我國工業(yè)領(lǐng)域發(fā)展瓶頸,國產(chǎn)化要求迫切。
運(yùn)動感測和MEMS介紹 5種類型的運(yùn)動感測實(shí)現(xiàn)應(yīng)用變革
雖然MEMS(微電子機(jī)械系統(tǒng))技術(shù)被用于安全氣囊和汽車壓力傳感器領(lǐng)域已有二十年左右,但卻是任天堂Wii和蘋果iPhone的熱銷使人們更廣泛地了解慣性傳感...
國內(nèi)MEMS產(chǎn)業(yè)化仍然不夠成熟
顏重光指出,MEMS與機(jī)械類傳感器相比,精度相對差一些,主要是由于半導(dǎo)體自身的溫度特性有關(guān),但如果與單片機(jī)配合進(jìn)行漂移補(bǔ)償,可以相應(yīng)的增加精度。并且由于...
2018-04-10 標(biāo)簽:MEMS 1273 0
中國MEMS行業(yè)危機(jī)關(guān)頭的救命符
為什么MEMS會在產(chǎn)業(yè)的整體下滑時,反而迎來自己的黃金發(fā)展?事實(shí)上,MEMS有自己的產(chǎn)業(yè)循環(huán)規(guī)律。1987年~2000年是MEMS的黃金發(fā)展期,打印頭、...
2018-04-10 標(biāo)簽:mems 574 0
MEMS技術(shù)在消費(fèi)電子與無線設(shè)備市場殺出重圍
在消費(fèi)市場,陀螺儀正在幫助推動MEMS增長,2008-2013年?duì)I業(yè)收入復(fù)合年增長率將達(dá)18%。這些器件用于游戲機(jī)控制器等產(chǎn)品之中。
Analog ADIS16240是低功耗設(shè)計(jì)而優(yōu)化高精度沖擊傳感器
編程特性和數(shù)據(jù)訪問由標(biāo)準(zhǔn)的SPI端口控制,這使得ADIS16240與現(xiàn)有許多系統(tǒng)兼容。該器件在整合到系統(tǒng)中后可自主工作,自動地捕獲各種事件以供后續(xù)分析,...
與普通鼠標(biāo)相比,這款鼠標(biāo)既沒有滾動的橡皮球,也沒有光感應(yīng)裝置,其動作感應(yīng)機(jī)構(gòu)深深地隱藏在芯片之內(nèi),這就是MEMS(MicroElectroMechani...
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