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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導體制造技術(shù))基礎上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
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弗勞恩霍夫硅技術(shù)研究院半導體技術(shù)專家Bernhard Wagner對于MEMS揚聲器的生產(chǎn)制造看到了重要的發(fā)展機遇:“未來我們將采用能效更高且與IC工藝...
MEMS陀螺儀對微機械加工工藝具有高度的敏感性,加工工藝偏差、加工應力以及可靠性等對MEMS陀螺儀的成品率至關(guān)重要。整個微機械加工工藝流程是實現(xiàn)MEMS...
物聯(lián)網(wǎng)設備中的MEMS器件是如何被超聲波影響的
據(jù)了解,二人目前主要從事安全前沿研究,長期關(guān)注物聯(lián)網(wǎng)設備和AI等領域安全問題研究,因此,對本次超聲波干擾物聯(lián)網(wǎng)設備這一漏洞的發(fā)現(xiàn)也絕非偶然。7月28日,...
第一個挑戰(zhàn)是智能手機MEMS市場蕭條,而競爭依然非常激烈。時至今日,MEMS最大的市場仍然是智能手機市場。但現(xiàn)在,該市場的增長已經(jīng)進入停滯階段。然而,由...
城市隧道結(jié)構(gòu)健康的檢測就就看MEMS的了
過去,人們對結(jié)構(gòu)健康性能的監(jiān)測主要是采用傳統(tǒng)的人工監(jiān)測方法以及有線傳感器來實現(xiàn)。人工方法的缺陷在于主要依靠人的經(jīng)驗,而不同的人進行監(jiān)測的差異較大,除漏檢...
2018-06-13 標簽:mems數(shù)據(jù)無線 1040 0
據(jù)研究論文的主要作者、伊利諾伊大學厄巴納—香檳分校材料科學家劉宇浩表示,與聽診器這種常見傳感器相比,最新研發(fā)的新器件所使用的低功率商用MEMS加速度傳感...
利用MEMS微機電系統(tǒng)檢測、捕捉、分析運動,已成為消費電子和移動設備司空見慣的功能。同樣的,MEMS傳感器技術(shù)也可以使許多潛在的醫(yī)療診斷和儀器應用受益。...
眼動追蹤,是指通過測量眼睛的注視點的位置或者眼球相對頭部的運動而實現(xiàn)對眼球運動的追蹤。目前,LG和三星曾推出過具有眼動追蹤技術(shù)的手機。如三星某款Gala...
重力儀通常被用來測定重力加速度的微小變化,廣泛用于石油勘探和環(huán)境測量等工作中。然而大部分的重力儀相對大型且昂貴。上周,英國格拉斯哥大學的研究人員則通過融...
20世紀90年代,隨著微機電系統(tǒng)MEMS技術(shù)研究的成熟,幾克重的MEMS慣性導航系統(tǒng)被制作了出來,使得多旋翼無人機飛行器的自動控制器可以做了。但是,由于...
環(huán)境監(jiān)測將成為MEMS傳感器的發(fā)展新方向,資料圖 在智慧型手機以及穿戴式裝置應用中,陀螺儀、加速度傳感器和磁力計等動作傳感器已發(fā)展成熟。制造商們開...
2018-06-18 標簽:手機mems環(huán)境監(jiān)測 834 0
在傳統(tǒng)的汽車電子和消費電子迎來MEMS傳感器需求的穩(wěn)步增長外,隨著人口老齡化,各種遠距離監(jiān)護和高精度治療設備將越來越多地被引入,未來增長最快的應用市場將...
TPMS系統(tǒng)主要由兩個部分組成:安裝在汽車輪胎上的遠程輪胎壓力監(jiān)測模塊和安裝在汽車駕駛臺上的中央監(jiān)視器(LCD/LED顯示器)。直接安裝在每個輪胎里測量...
有很多上班族,長時間坐在辦公室很難實行身體力行的日行萬步計劃。這當中的計步器扮演了相當重要的角色,也就是MEMS的加速度傳感器所執(zhí)行的計步的工作。如果沒...
傳感器發(fā)展的另一大特點是向著集成化、智能化方向發(fā)展。集成傳感器的優(yōu)勢是傳統(tǒng)傳感器無法達到的,它不僅僅是一個簡單的傳感器,其將輔助電路中的元件與傳感元件同...
射頻微機電(RF MEMS)今年將大舉進駐高階LTE手機。多頻多模4G手機現(xiàn)階段最多須支援十五個以上頻段,引發(fā)內(nèi)部RF天線尺寸與功耗過大問題;為此,一線...
隨著硅微機械加工技術(shù)(MEMS)的迅猛發(fā)展,各種基于MEMS技術(shù)的器件也應運而生,目前已經(jīng)得到廣泛應用的就有壓力傳感器、加速度傳感器、光開關(guān)等等,它們有...
該壓力傳感器最終實現(xiàn)了噴墨噴嘴,并促使數(shù)字光處理(DLP) MEMS的出現(xiàn),很快地也有了第一家廠商使用來自ADI的加速度計觸發(fā)安全氣囊,這比傳統(tǒng)的管內(nèi)球...
在國際半導體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(SEMI)看來,微機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)在近幾年來的半導體領域中成長最快速,那么如何準確預測MEMS的未來?在了解MEMS元件的...
物聯(lián)網(wǎng)4大技術(shù)的簡單分析介紹
射頻識別(RFID)技術(shù) 射頻識別(Radio Frequency Identification,簡稱RFID)是通過無線電信號識別特定目標并讀寫相關(guān)數(shù)...
2017-12-06 標簽:傳感器技術(shù)rfidmems 4831 0
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