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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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來(lái)源:青島芯笙流量計(jì)和控制器 編輯:感知芯視界 Link 發(fā)展歷史 MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems,微電子機(jī)...
29年前,中國(guó)首位上將院士提出:MEMS等微納技術(shù)對(duì)國(guó)家科技戰(zhàn)略發(fā)展很重要!最早倡導(dǎo)
在兩院院士中有不少“將軍院士”,不過(guò)“上將院士”并不多,目前也僅有兩位,丁衡高院士其中之一,也是我國(guó)首位“上將院士”。 丁衡高院士既是中國(guó)工程院首批院士...
2024-07-21 標(biāo)簽:傳感器mems機(jī)電系統(tǒng) 1135 0
全面解讀 MEMS LVCMOS 振蕩器 SiT8208 1 - 80 MHz 系列
MEMS LVCMOS 振蕩器 SiT8208(1 - 80 MHz)系列
深入探究 MEMS LVCMOS 振蕩器 SiT1602 系列 52 種標(biāo)準(zhǔn)頻率
深入探究 MEMS LVCMOS 振蕩器 SiT1602 系列(52 種標(biāo)準(zhǔn)頻率)
MEMS LVCMOS 振蕩器 SiT8009 系列 115 - 137 MHz
深度剖析 MEMS LVCMOS 振蕩器 SiT8009 系列(115 - 137 MHz)
你可能看不懂的硬核傳感器知識(shí):MEMS芯片制造工藝流程
?? 本文整理自公眾號(hào)芯生活SEMI Businessweek中關(guān)于MEMS制造工藝的多篇系列內(nèi)容,全面、專業(yè)地介紹了MEMS芯片制造中的常用工藝情況,...
深圳MEMS芯片設(shè)計(jì)-華芯邦科技芯制程第四代金屬氧化物半導(dǎo)體的高精度MEMS溫度傳感器芯片
華芯邦科技致力于前沿科技的推動(dòng),其最新推出的新型納米材料展現(xiàn)出非凡的優(yōu)勢(shì),所生產(chǎn)的溫度傳感器芯片,通過(guò)完美融合熱電阻與IC溫度傳感器的優(yōu)勢(shì),成為了一種創(chuàng)...
2024-07-30 標(biāo)簽:mems芯片設(shè)計(jì)華芯邦 736 0
填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空白!國(guó)產(chǎn)電容式MEMS氣壓傳感器芯片WXP380介紹
午芯芯科技MEMS電容式壓力芯片擁有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán),已獲10項(xiàng)專利授權(quán),從設(shè)計(jì)到生產(chǎn)的每個(gè)環(huán)節(jié)均在國(guó)內(nèi)完成,實(shí)現(xiàn)了MEMS電容式壓力芯片領(lǐng)域的國(guó)產(chǎn)化替...
東南大學(xué)利用Moku:Pro跟蹤MEMS應(yīng)用諧振頻率并穩(wěn)定輸出信號(hào)幅值
簡(jiǎn)介與挑戰(zhàn)微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)利用硅的電學(xué)和機(jī)械特性,將機(jī)械結(jié)構(gòu)和電子結(jié)構(gòu)集成在一起,用于檢測(cè)加速度、旋轉(zhuǎn)、角速度等。MEMS設(shè)備的核心組件包括一個(gè)垂...
2024-07-11 標(biāo)簽:mems微機(jī)電系統(tǒng)諧振頻率 624 0
隨著傳感器技術(shù)及其相關(guān)領(lǐng)域的迅猛發(fā)展——包括數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、能源儲(chǔ)存、先進(jìn)新材料的應(yīng)用以及網(wǎng)絡(luò)基礎(chǔ)設(shè)施的不斷完善,加之生產(chǎn)成本的持續(xù)降低,傳感器的應(yīng)用領(lǐng)域正以...
上海工研院MEMS取得重大突破,智能傳感器工藝從定制化向標(biāo)準(zhǔn)化持續(xù)邁進(jìn)
傳感器是信息獲取的重要工具,是關(guān)系到國(guó)民經(jīng)濟(jì)、社會(huì)發(fā)展和國(guó)家安全的基礎(chǔ)性、關(guān)鍵性和戰(zhàn)略性高新技術(shù)器件。微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)是傳感器批量制造的主流技...
USound和OBO Pro 2宣布推出創(chuàng)新的Greip雙輸入音頻模塊
基于MEMS技術(shù)的高端音頻解決方案供應(yīng)商USound高興地宣布與OBO Pro 2達(dá)成戰(zhàn)略合作,共同打造一款超越真無(wú)線系統(tǒng)(TWS)耳機(jī)和入耳式監(jiān)聽器(...
國(guó)產(chǎn)MEMS射頻芯片巨頭諾思微系統(tǒng)與博通和解 并就雙方某些中國(guó)專利達(dá)成交叉許可
7月3日,諾思微系統(tǒng)官方微信發(fā)布重大聲明稱,諾思(天津)微系統(tǒng)有限責(zé)任公司與安華高科技股份有限公司已就雙方全部爭(zhēng)議達(dá)成和解。雙方已撤回并終結(jié)針對(duì)對(duì)方或其...
美國(guó)政府投資了一家MEMS公司RVM,建美國(guó)第一條12英寸MEMS芯片產(chǎn)線
美國(guó)當(dāng)?shù)貢r(shí)間7月1日,美國(guó)商務(wù)部官網(wǎng)發(fā)布新聞稿,宣布與Rogue Valley Microdevices達(dá)成初步條款,以支持新晶圓廠的建設(shè): 今天,拜登...
增芯科技12英寸晶圓制造項(xiàng)目投產(chǎn)啟動(dòng),內(nèi)含國(guó)內(nèi)首條12英寸MEMS智能傳感器晶圓生產(chǎn)線
|?項(xiàng)目一期產(chǎn)能預(yù)計(jì)2025年底達(dá)到2萬(wàn)片/月 2024年6月28日,增芯科技12英寸晶圓制造項(xiàng)目在廣州增城投產(chǎn)啟動(dòng),該項(xiàng)目建設(shè)有國(guó)內(nèi)首條、全球第二條的...
1375萬(wàn)元,巨額MEMS開發(fā)項(xiàng)目公開招標(biāo)!
據(jù)傳感器專家網(wǎng)獲悉,近日,采購(gòu)網(wǎng)發(fā)布了北京啟元實(shí)驗(yàn)室《面向MEMS微結(jié)構(gòu)的關(guān)鍵工藝IP開發(fā)公開招標(biāo)公告》,金額達(dá)1375萬(wàn)元。 啟元實(shí)驗(yàn)室成立于 202...
2024-07-04 標(biāo)簽:mems 1255 0
中國(guó)首條12英寸MEMS量產(chǎn)線今天投產(chǎn)!5年370億兩座晶圓廠12萬(wàn)片每月!
Flag完成!從動(dòng)土開工到投產(chǎn),18個(gè)月搞定!中國(guó)首條12英寸MEMS量產(chǎn)線!5年投資370億,兩座晶圓廠,12萬(wàn)片/月產(chǎn)能! 今天(6月28日),廣州...
打破降本桎梏,感測(cè)通具備年產(chǎn)十萬(wàn)套低成本大尺寸MEMS振鏡能力
導(dǎo)遠(yuǎn)科技旗下全資子公司蘇州感測(cè)通信息科技有限公司(簡(jiǎn)稱“感測(cè)通”)在規(guī)?;恐圃旃に嚭土鞒谭矫嫒〉猛黄菩赃M(jìn)展, 目前已具備年產(chǎn)十萬(wàn)套MEMS振鏡系列產(chǎn)...
2024-06-28 標(biāo)簽:mems 3777 0
維特智能MEMS傾角傳感器溫漂,實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)測(cè)量
在今天的科技世界中,MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))傾角傳感器以其小巧、高精度和快速響應(yīng)的特點(diǎn),被廣泛應(yīng)用于各種領(lǐng)域,如無(wú)人機(jī)姿態(tài)控制、工業(yè)自動(dòng)化、智能交通等。然...
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