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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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微機(jī)電 (MEMS) 技術(shù)分析 3D-MEMS
微機(jī)電 (MEMS) 技術(shù)在電子產(chǎn)品中的地位愈來愈重要,不論是在汽車、工業(yè)、醫(yī)療或軍事上需要用到此類精密的元器件,在信息、通訊和消費(fèi)性電子等大眾的市場(chǎng),...
引 言MEMS技術(shù)的發(fā)展使得慣性技術(shù)領(lǐng)域正在經(jīng)歷一場(chǎng)深刻的變化。慣性傳感器是利用物體的慣性性質(zhì)來測(cè)量物體運(yùn)動(dòng)情況的一類傳感器,包括加速度計(jì)和...
MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))是指集微型傳感器、執(zhí)行器以及信號(hào)處理和控制電路、接口電路、通信和電源于一體的微型機(jī)電系統(tǒng)。 MEMS壓力傳感器可以用類似集...
MEMS加速度傳感器在人體坐姿的檢測(cè)和糾正中的應(yīng)用
本文把加速度傳感器作為檢測(cè)的模塊,一方面可用來防止坐姿的不當(dāng),提醒本人注意坐姿,另一方面可用來做運(yùn)動(dòng)的測(cè)量裝置如(計(jì)步器)(燈光調(diào)節(jié)器)(音樂調(diào)節(jié)器)。...
微機(jī)電 (MEMS)汽車傳感器消費(fèi)量猛增 關(guān)注中國(guó)市場(chǎng)
據(jù)iSuppli公司的最新調(diào)研,微機(jī)電 (MEMS)汽車傳感器將在2010年強(qiáng)勁反彈,預(yù)計(jì)2010年全球汽車MEMS傳感器出貨量將達(dá)到5.912億個(gè),比...
在消費(fèi)電子設(shè)備中如何選擇和集成MEMS運(yùn)動(dòng)處理方案
在消費(fèi)電子設(shè)備中如何選擇和集成MEMS運(yùn)動(dòng)處理方案 對(duì)設(shè)備在三維空間中的運(yùn)動(dòng)進(jìn)行測(cè)量及智能處理的運(yùn)動(dòng)處理技術(shù),將是下一個(gè)重大的革命性技術(shù),會(huì)對(duì)未來的手持消費(fèi)電
2010-01-04 標(biāo)簽:MEMS 437 0
如何利用MEMS慣性感測(cè)技術(shù)實(shí)現(xiàn)應(yīng)用變革
如何利用MEMS慣性感測(cè)技術(shù)實(shí)現(xiàn)應(yīng)用變革 雖然MEMS(微電子機(jī)械系統(tǒng))技術(shù)被用于安全氣囊和汽車壓力傳感器領(lǐng)域已有二十年左右,但卻是任天堂Wii和...
2010-04-27 標(biāo)簽:MEMS 1412 0
MEMS麥克風(fēng)用于高保真音頻回放、VoIP和語(yǔ)音識(shí)別
MEMS麥克風(fēng)用于高保真音頻回放、VoIP和語(yǔ)音識(shí)別 許多便攜式...
什么是MEMS MEMS(Micro Electromechanical System,即微電子機(jī)械系統(tǒng))是指集微型傳感器、執(zhí)行器以及信號(hào)處理和控制電...
2010-04-02 標(biāo)簽:MEMS 2220 0
全球五大MEMS買家 各具特色 2009年消費(fèi)類電子產(chǎn)品與手機(jī)MEMS部件的最大買家是任天堂。任天堂在提高游戲...
2010-03-25 標(biāo)簽:MEMS 440 0
MEMS,什么是MEMS MEMS(Micro Electromechanical System,即微電子機(jī)械系統(tǒng))是指集微型傳感器、執(zhí)行器以及信號(hào)處...
2010-03-20 標(biāo)簽:MEMS 1237 0
MEMS光開關(guān)的優(yōu)勢(shì)有發(fā)展動(dòng)態(tài)簡(jiǎn)介
MEMS光開關(guān)的優(yōu)勢(shì)有發(fā)展動(dòng)態(tài)簡(jiǎn)介 摘要 本文介紹了基于MEMS(微電子機(jī)械系統(tǒng))技術(shù)的光開關(guān)的技術(shù)優(yōu)勢(shì)及主要制造商情況,并概要分
MEMS產(chǎn)業(yè)預(yù)強(qiáng)勢(shì)發(fā)展
MEMS產(chǎn)業(yè)預(yù)強(qiáng)勢(shì)發(fā)展 2008年,TSMC宣布開始進(jìn)入MEMS代工。一石激起千層浪,MEMS頓時(shí)成為半導(dǎo)體代工行業(yè)的明星。2009年Q1,SMI...
2010-03-17 標(biāo)簽:MEMS 555 0
CAD工具提供MEMS專用設(shè)計(jì)功能介紹 在過去幾年,MEMS和微機(jī)械化設(shè)計(jì)與生產(chǎn)更多地是發(fā)生在大學(xué)實(shí)驗(yàn)室里的研究活動(dòng),而
2010-03-11 標(biāo)簽:MEMS 1751 0
MEMS規(guī)范概述 許多擁有晶圓廠的半導(dǎo)體制造商尋求通過為無(wú)晶圓廠MEMS開發(fā)商制造MEMS器件來利用他們舊生產(chǎn)線...
2010-03-11 標(biāo)簽:MEMS 677 0
采用PC的IC工具降低MEMS設(shè)計(jì)方法 鑒于MEMS工藝源自光刻微電子工藝,所以人們很自然會(huì)考慮用IC設(shè)計(jì)工具來...
2010-03-11 標(biāo)簽:MEMS 554 0
創(chuàng)建靈敏的MEMS結(jié)構(gòu)的工藝技術(shù)介紹
創(chuàng)建靈敏的MEMS結(jié)構(gòu)的工藝技術(shù)介紹 表面微加工技術(shù)可用于創(chuàng)建微機(jī)電傳感器及激勵(lì)器系統(tǒng),它能夠通過高適應(yīng)度的彈性,形成錨
2010-03-11 標(biāo)簽:MEMS 750 0
任天堂勇超三星 成消費(fèi)電子與手機(jī)用MEMS最大買家
任天堂勇超三星 成消費(fèi)電子與手機(jī)用MEMS最大買家 據(jù)iSuppli公司,日本任天堂在2009年超越韓國(guó)的三星,成為用于消費(fèi)電子產(chǎn)品和手機(jī)的微機(jī)電系...
2009年MEMS慣性傳感器現(xiàn)狀及2010年趨勢(shì)
2009年MEMS慣性傳感器現(xiàn)狀及2010年趨勢(shì) MEMS技術(shù)最早由Richard Pfeynman(1965年獲得諾貝爾物理獎(jiǎng)),在1959年提出...
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