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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
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“MEMS的應用與機遇”研討會探索MEMS廣闊市場 MEMS是多學科交叉融合的前沿技術(shù),是未來的主導產(chǎn)業(yè)之一。MEMS以其微型化的優(yōu)勢,在消費電子、...
基于ARM平臺的MEMS輸入設(shè)備的固件設(shè)計
基于ARM平臺的MEMS輸入設(shè)備的固件設(shè)計 1 引言 MEMS(Micro Electro Mechanical System,即微機電系統(tǒng)...
ST推出MEMS加速計產(chǎn)品 意法半導體發(fā)布新系列三軸數(shù)字加速計的產(chǎn)品細節(jié)。新產(chǎn)品擁有市場上最小的占板面積、大幅降低的電流消耗和增強的功能。 意法半導體在
ST推出MEMS數(shù)字羅盤模塊 意法半導體在單一模塊內(nèi)集成一個3軸數(shù)字加速計和一個3軸數(shù)字磁感應計,這款數(shù)字羅盤模塊兼?zhèn)涓呔?、小尺寸、低功耗、具有競爭力的價格
2010-01-16 標簽:MEMS數(shù)字羅盤模 1048 0
市場分析:MEMS封裝朝向晶圓級發(fā)展 傳統(tǒng)的MEMS長期依賴陶瓷封裝,雖然行之有效,但MEMS產(chǎn)業(yè)已經(jīng)醞釀向晶圓級封裝(WLP)技術(shù)轉(zhuǎn)變,而這一轉(zhuǎn)變的...
用于供電無線感應器節(jié)點MEMS設(shè)備研制成功
用于供電無線感應器節(jié)點MEMS設(shè)備研制成功 Holst Centre,一家專注為無線自治傳感器方案開發(fā)共用性技術(shù)的研發(fā)機構(gòu),已經(jīng)開發(fā)一套新能量收集應...
2009-12-28 標簽:MEMS 586 0
基于MEMS的硅微壓阻式加速度傳感器的設(shè)計 硅微加速度傳感器是MEMS器件中的一個重要分支,具有十分廣闊的應用前景。由于硅微加速度傳感器具有響應快、靈敏度高
ST創(chuàng)新的MEMS麥克風 意法半導體(ST)擴大產(chǎn)品陣容,推出新一代微加工音響器件:創(chuàng)新的MEMS麥克風。新產(chǎn)品采用歐姆龍3的傳感器技術(shù),針對手機以及...
釋放MEMS機械結(jié)構(gòu)的干法刻蝕技術(shù)
釋放MEMS機械結(jié)構(gòu)的干法刻蝕技術(shù) 濕法刻蝕是MEMS 器件去除犧牲材料的傳統(tǒng)工藝,總部位于蘇格蘭的Point 35 Microstructure...
基于MEMS強鏈和FPGA的USB移動硬盤數(shù)據(jù)加解密系統(tǒng)
基于MEMS強鏈和FPGA的USB移動硬盤數(shù)據(jù)加解密系統(tǒng) 隨著信息量的急劇增長,信息安全日益受到人們重視。一個完整的數(shù)據(jù)加解密系統(tǒng)應該 具備安全可靠的...
基于MEMS和FPGA的移動硬盤數(shù)據(jù)加解密系統(tǒng)
基于MEMS和FPGA的移動硬盤數(shù)據(jù)加解密系統(tǒng) 隨著信息量的急劇增長,信息安全日益受到人們重視。一個完整的數(shù)據(jù)加解密系統(tǒng)應該 具備安全可靠的密碼認證機...
MEMS的應用 MEMS 技術(shù)的應用范圍廣泛[24~28 ] ,MEMS 技術(shù)是一種典型的多學科交叉的前沿研究領(lǐng)域, 幾乎涉及到自然科學及工程技術(shù)的所有領(lǐng)
2009-03-17 標簽:MEMS 1901 1
MEMS快門預示著顯示技術(shù)的更大改進 一種由Uni-Pixel顯示技術(shù)公司開發(fā)的時序多工光學快門技術(shù),將有望實現(xiàn)比TFT LCD更亮、更薄、更便宜的顯...
2008-11-26 標簽:MEMS 815 0
祥解MEMS的前世今生,商用化緩慢然而前景廣闊 微機電系統(tǒng)(MEMS)在1954年由貝爾實驗室的Charles Smith通過硅的壓阻效應發(fā)明,在不到...
2008-10-24 標簽:MEMS 796 0
從全局考慮MEMS集成 在將微電子機械系統(tǒng)(MEMS)集成進更大的電子系統(tǒng)時工程師必須進行全局考慮,但是目前工程師所面臨的問題是:如何劃分和封裝系統(tǒng)?...
2008-09-22 標簽:MEMS 536 1
MEMS:對消費類電子產(chǎn)生重大影響的技術(shù)
制造商正在不斷完善手持式裝置,提供體積更小而功能更多的產(chǎn)品。但矛盾之處在于,隨著技術(shù)的改進,價格往往也會出現(xiàn)飆升,所以這就導致一個問題:制造商不得不...
2006-03-13 標簽:MEMS 416 0
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