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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
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據(jù)公告,項目為建設(shè)月產(chǎn)能3萬片的國內(nèi)首條采用MEMS體硅加工工藝的8英寸代工生產(chǎn)線。以此項目為基礎(chǔ),將建設(shè)國際先進的MEMS技術(shù)和產(chǎn)品孵化中心和產(chǎn)業(yè)聚...
溫度傳感器種類繁多,應用也極為廣泛,在我們?nèi)粘K璧钠?、消費電子、家用電器等產(chǎn)品上都存在一個至數(shù)個溫度傳感器。較比其他種類傳感器,溫度傳感器出現(xiàn)的最早...
美泰電子科技有限公司 美泰電子科技有限公司是中國MEMS行業(yè)協(xié)會理事長單位。專門致力于MEMS(微電子機械系統(tǒng))器件與系統(tǒng)的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。是國內(nèi)最大...
村田開發(fā)出一種新型MEMS(微機電系統(tǒng))6DoF慣性傳感器,可用于無人駕駛的越野車、動態(tài)傾角傳感和GNSS定位輔助。該傳感器將為高級駕駛員或操作人員輔助...
全球MEMS保持10%以上的高速增長,中國MEMS器件需求增速高于全球
從全球產(chǎn)業(yè)競爭格局來看,2018年中國MEMS傳感器行業(yè)銷售規(guī)模排名全球第一,占全球比重達23.82%,其次為美國(15.61%)、韓國(9.03%)和...
“超越摩爾”新進展,2023 SITRI DAY發(fā)布“MEMS標準工藝模塊”和“90nm硅光集成工藝”
電子發(fā)燒友網(wǎng)報道(文/吳子鵬)隨著摩爾定律的進一步發(fā)展,近些年半導體產(chǎn)業(yè)界一直都在探尋新路徑,以求在芯片設(shè)計上繼續(xù)保持高效、高速的發(fā)展。在后摩爾定律時代...
智能制造的趨勢下,智能化也將成為傳感器的重要發(fā)展方向
目前,傳感器正在經(jīng)歷單一材料到復合材料、簡單結(jié)構(gòu)到系統(tǒng)結(jié)構(gòu)的過程,而原有的物理量感應功能也在進行智能化轉(zhuǎn)化。本文將圍繞微電子機械系統(tǒng)(MEMS)麥克風、...
深圳華美澳通傳感器有限公司,All Sensors China Co., Ltd(簡稱ASC)是美國All Sensors公司(Amphenol旗下子公...
江蘇MEMS智能傳感器研究院揭牌,致力打造國際領(lǐng)先的傳感器研發(fā)平臺
據(jù)麥姆斯咨詢報道,5月28日,德國圖林根州經(jīng)濟、科技與數(shù)字社會部部長Wolfgang Tiefensee,德國駐上??傤I(lǐng)館總領(lǐng)事Althauser一行來...
隨著“工業(yè)4.0”推進,MEMS傳感器迎來了巨大的發(fā)展機遇。
會后,嘉賓們對沈撫新區(qū)全貌及規(guī)劃館、罕王微電子、新松機器人等企業(yè)進行重點考察。
全硅MEMS揚聲器,或?qū)⑾破鹦乱惠喯M電子創(chuàng)新浪潮
電子發(fā)燒友網(wǎng)報道(文/黃晶晶)如今消費電子市場無論是智能手機還是TWS耳機、智能手表等都同樣面臨著創(chuàng)新乏力的局面。我們不禁要思考還有哪些技術(shù)創(chuàng)新能夠給消...
敏芯股份自主研發(fā)的MEMS傳感器產(chǎn)品逐漸獲得業(yè)內(nèi)認可
據(jù)了解,敏芯股份的科創(chuàng)板IPO上會審議原定于4月30日,卻因其與歌爾股份之間的專利訴訟案件,被科創(chuàng)板上市委員會取消審議其上市申請。
全球TOP10移動MEMS廠商排名及點評:意法半導體繼續(xù)領(lǐng)跑
據(jù)IHS iSuppli公司的MEMS市場追蹤報告,2011年10大供應商占消費與移動MEMS器件市場總體營業(yè)收入的86%,蘋果公司的主要供應商意法...
本文把加速度傳感器作為檢測的模塊,一方面可用來防止坐姿的不當,提醒本人注意坐姿,另一方面可用來做運動的測量裝置如(計步器)(燈光調(diào)節(jié)器)(音樂調(diào)節(jié)器)。...
盡管近幾年MEMS增速放緩,但是依托曾經(jīng)在市場中發(fā)展的基數(shù),地位依然很穩(wěn)。所以,當物聯(lián)網(wǎng)、智能工業(yè)、智能農(nóng)業(yè)迅速興起之時,MEMS的春天再次來臨,新的時...
2020-07-26 標簽:傳感器mems物聯(lián)網(wǎng) 2798 0
電子發(fā)燒友網(wǎng)報道(文/李寧遠)從智能手機到工藝復雜的精密控制儀表,壓力傳感器的應用遍布其中。飛機空速傳感器是其中一個比較典型差壓測量器件例子。差壓傳感器...
針對傳感器技術(shù)在國內(nèi)的專利申請狀況,本文檢索結(jié)合關(guān)鍵詞檢索、IPC檢索、邏輯表達式檢索等方式,檢索了2018年12月31日前公開的專利申請數(shù)據(jù)。
2020-08-02 標簽:傳感器技術(shù)mems 2794 0
微機電系統(tǒng)(MEMS)加工及技術(shù)基礎(chǔ)
微機電系統(tǒng)技術(shù)統(tǒng)有多種原材料和制造技術(shù),選擇條件是系統(tǒng)的應用、市場等等。
2011-09-13 標簽:MEMS微機電系統(tǒng) 2794 0
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