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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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ST宣布STM32 F3微控制器正式量產 并推出內建9軸MEMS感測器的開發(fā)套件
意法半導體(ST)為簡化高性能STM32 F3微控制器開發(fā)專案,推出并開始量產一個簡易使用的創(chuàng)新開發(fā)平臺。
意法半導體推出新款高性能、低功耗的數(shù)字MEMS麥克風。意法半導體MP34DT01拾音孔頂置麥克風采用3x4x1mm超小封裝,讓手機、平板電腦等消費電子設...
一、美國專利數(shù)量遠多于中國專利,國外技術研發(fā)水平大幅領先。經(jīng)過對比可知,硅基MEMS制造技術領域美國專利數(shù)量遠多于中國。其中,美國授權專利數(shù)量達4411...
一 MEMS加速度計所用的材料 例如用于做襯底的襯底材料,用于做掩膜的掩膜材料,用于表面微加工的犧牲層材料等等。Mems加速度計常用的材料有單晶硅、二氧...
壓力傳感器廣泛應用于醫(yī)療設備、自動化、液壓和航空航天等領域,用于測量氣體或液體所受的力。大多數(shù)安裝的壓力傳感器采用MEMS技術,使用壓阻或電容測量原理。...
電子發(fā)燒友網(wǎng)報道(文/李寧遠)現(xiàn)代陀螺儀是一種能夠精確地確定運動物體的方位的儀器,是現(xiàn)代航空,航海,航天和國防工業(yè)中廣泛使用的一種慣性導航儀器。光纖陀螺...
2023-10-24 標簽:mems 2483 0
隨著微處理器,嵌入式系統(tǒng)和其他模塊(尤其是微機電系統(tǒng)(MEMS)傳感器)的小型化,電子產品中的傳感器正在以非??斓乃俣劝l(fā)展。
SENSOR CHINA 2017:國內熱門物聯(lián)網(wǎng)應用創(chuàng)新案例和商用程度大檢視
據(jù)Yole Développement數(shù)據(jù)顯示,MEMS和傳感器市場規(guī)模將從2016年的380億美元增長至2021年的660億美元,復合年增長率達12%...
2017-09-05 標簽:傳感器mems智能家居主題區(qū) 2481 0
碳納米管由于其良好的電學性能、優(yōu)異的力學性能,近年來被廣泛應用于納米機電系統(tǒng)(NEMS)的相關研究,在質量、微力、氣體、位移等物理量的測量方面也具有廣闊...
2020-04-16 標簽:mems諧振器機電系統(tǒng) 2480 0
摘要:中國科學院微電子研究所毛海央研究員課題組與中國科學院長春光機所李紹娟研究員課題組、中北大學熊繼軍教授課題組合作,通過使用等離子體轟擊聚合物工藝并結...
2021中國IC風云榜“年度最具成長潛力獎”征集現(xiàn)已啟動!入圍標準要求為營收500萬-1億元的未上市、未進入IPO輔導期的半導體行業(yè)優(yōu)秀企業(yè)。評選將由中...
據(jù)麥姆斯咨詢介紹,華景傳感創(chuàng)始人繆建民博士是國際知名MEMS專家,為全球MEMS標準委員會的成員,擁有20多年的MEMS產業(yè)和研究經(jīng)驗,曾為世界麥克風之...
與大多數(shù)電子元件一樣,MEMS的成本由開發(fā)和資本支出決定。內容的日益復雜,尤其是在接口ASIC和軟件中,使得MEMS開發(fā)成為一個多學科的壯舉,需要跨多個...
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