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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
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一般情況下超過70g叫做high-g大量程加速度計,適用于碰擊或是沖撞等比較大加速度變化的應(yīng)用;中等量程middle-g一般是10g以上到40-70g,...
業(yè)界首款高性能ADMP441新型MEMS麥克風(fēng)
ADI最近推出業(yè)界首款高性能 ADMP441 iMEMS麥克風(fēng),它能夠提供 I2S 數(shù)字輸出。ADMP441 還具有100 Hz至15 kHz 的擴展頻...
基于微懸臂梁的MEMS探針中與傾斜相關(guān)定位誤差的量化和校正
就微型探針而言,已經(jīng)研究了避免誤差的自動定位技術(shù)。量化并控制傾斜誤差,對于利用微懸臂梁優(yōu)化自動化探針測試至關(guān)重要。然而,后者的研究還沒有考量潛在的微型M...
Multitest MEMS推出適用于MT9510產(chǎn)品
IDM和Multitest公司,現(xiàn)已將首臺適于MT9510水平拿放式測試分選機的Multitest MEMS設(shè)備發(fā)送到美國的一家IDM。這種新型組合以兩...
Omnitron驗證創(chuàng)新的MEMS掃描鏡工藝
據(jù)市場調(diào)研機構(gòu)預(yù)測,到2026年,激光雷達光學(xué)子系統(tǒng)市場規(guī)模將持續(xù)增長到23億美元。為了把握未來商機,Omnitron近日宣布已完成對創(chuàng)新的MEMS掃描...
中國MEMS慣性傳感器85%市場被國外巨頭瓜分!國產(chǎn)還有機會嗎?
MEMS慣性傳感器是MEMS傳感器重要種類之一,在消費電子、汽車電子甚至航空航天等諸多領(lǐng)域,均有重要作用。 本文來自頭豹研究院于3月20日發(fā)布的MEMS...
全球首款采用MEMS揚聲器的助聽器于2023年1月1日發(fā)售
Montara的通風(fēng)揚聲器振膜不會對耳道施加壓力,從而減少疲勞,增加長期佩戴和聆聽舒適度。這種創(chuàng)新的MEMS方法還產(chǎn)生了世界上最快、最精確的微型揚聲器,...
通過MEMS IMU傳感器提高自動駕駛農(nóng)機定位精度
但區(qū)別于路面車輛,在制定農(nóng)用設(shè)備安全移動和導(dǎo)航解決方案時,還需要考慮機械設(shè)備自身的特性。比如在振動環(huán)境下,自動播種機或干草打捆機安全運行過程中,需確保I...
日前,奧迪威在德國慕尼黑電子展(electronica?2022)發(fā)布PMUT技術(shù)產(chǎn)品——MEMS超聲波傳感器AW101,與此同時,國內(nèi)線上同步發(fā)布。 ...
在環(huán)境因素中,溫度和濕度是和我們的生活息息相關(guān)的兩個指標(biāo)。潮濕會影響電器、汽車、醫(yī)療設(shè)備的產(chǎn)品壽命和系統(tǒng)性能,也會影響美術(shù)館、博物館等場所中藏品的生周期...
本文介紹了一種基于MEMS的可調(diào)色散補償儀并詳細講述其工作原理,利用它可以實現(xiàn)真正的多信道色散補償。
MEMS技術(shù)在創(chuàng)新型投影顯示中的應(yīng)用
基于MEMS的DMD領(lǐng)域內(nèi)的不斷創(chuàng)新正在為開發(fā)人員提供更多的機會,將基于投影的顯示技術(shù)融入到多種針對工業(yè)、個人電子器件、可穿戴、數(shù)字標(biāo)牌和企業(yè)市場等應(yīng)用中。
國內(nèi)首個MEMS行業(yè)并購出現(xiàn) 會成下一個LED?
國內(nèi)第二大LED企業(yè)華燦光電對和諧光電的收購,成為國內(nèi)微型電子機械系統(tǒng)(MEMS)行業(yè)的首個大規(guī)模并購案例。雖然有部分企業(yè)已經(jīng)介入了MEMS行業(yè)的相關(guān)領(lǐng)...
終于來了!深圳首條MEMS中試線落地!中國第一MEMS代工廠主導(dǎo)建設(shè)!
作為我國科技發(fā)展領(lǐng)頭羊城市之一,中國最強的經(jīng)濟特區(qū)——深圳肩負(fù)著經(jīng)濟發(fā)展、科技突圍的重任。 ? 據(jù)深圳市智能傳感行業(yè)協(xié)會2022年底調(diào)研數(shù)據(jù)顯示,深圳市...
悉尼大學(xué)開發(fā)了與半導(dǎo)體制造兼容的硅光子MEMS平臺
據(jù)麥姆斯咨詢報道,澳大利亞悉尼大學(xué)Niels Quack副教授領(lǐng)導(dǎo)的研究小組開發(fā)了一種新技術(shù),將光學(xué)元件和MEMS集成在一顆微芯片中,為構(gòu)建微型3D相機...
傳感器將MEMS壓阻式芯體和專用信號調(diào)理電路封裝在雙氣嘴結(jié)構(gòu)的管殼內(nèi),降低環(huán)境對輸出的影響。
2022-09-09 標(biāo)簽:mems壓力傳感器信號調(diào)理電路 1564 0
國產(chǎn)高性能 MEMS 陀螺產(chǎn)品的核心指標(biāo)可以與國際大公司 等巨頭占據(jù),份額在 50%Honeywell 對標(biāo), 已實現(xiàn)國內(nèi)自主生產(chǎn), 雖然市場滲透率有待...
營收超200億,傳感器業(yè)績下滑18%!中國第二大MEMS龍頭企業(yè)2023業(yè)績公布
據(jù)傳感器專家網(wǎng)獲悉,今日(3月21日),中國領(lǐng)先的MEMS傳感器廠商瑞聲科技,公布了2023年全年業(yè)績: 全年收入人民幣204.19億元,按年跌1%。當(dāng)...
增芯12英寸MEMS量產(chǎn)線首臺設(shè)備搬入!來自國產(chǎn)半導(dǎo)體制造設(shè)備巨頭!
據(jù)傳感器專家網(wǎng)獲悉,12月28日,位于廣州的增芯科技MEMS量產(chǎn)線項目舉行首臺生產(chǎn)設(shè)備搬入儀式, 本次搬入設(shè)備是由中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)有限公司制造的P...
2024-01-02 標(biāo)簽:mems晶圓半導(dǎo)體制造 1558 0
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