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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
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由于汽車電子控制系統(tǒng)的多樣化,所用傳感器的種類和數(shù)量不斷增加,對傳感器的微型化、智能化、多功能化和集成化提出迫切需求。MEMS因具有精度高、體積小、價格...
智能傳感器50%的問題都出在這里!什么是MEMS封裝?(附頭部企業(yè)名單)
相關(guān)資料顯示,在 MEMS 系統(tǒng)中發(fā)生的可靠性問題 50% 來自封裝過程。2001年左右,封裝成本占MEMS器件總成本的70%~80%,使當時MEMS傳...
智能汽車和無人駕駛是驅(qū)動MEMS傳感器發(fā)展的重要動力。在智能汽車時代,將會使用大量的MEMS運動傳感器實現(xiàn)主動安全技術(shù):語音將成為人與智能汽車的重要交互...
英飛凌的MEMS麥克風開發(fā)戰(zhàn)略涵蓋了主要的構(gòu)建模塊MEMS、ASIC和該傳感器系列的封裝。因此,英飛凌完全掌握著其產(chǎn)品的性能、質(zhì)量和技術(shù)創(chuàng)新。如今,英飛...
敏芯股份榮獲電子發(fā)燒友2022年度中國IoT卓越表現(xiàn)獎
近日,由全球知名電子科技媒體電子發(fā)燒友主辦的第九屆中國IoT大會在深圳圓滿落幕,大會同步舉行了IoT創(chuàng)新獎頒獎活動。敏芯股份憑借在MEMS領(lǐng)域的深厚技術(shù)...
汽車電子穩(wěn)定程序(ESP)微傳感器及系統(tǒng)取得階段性成果
先進制造領(lǐng)域863課題“汽車電子穩(wěn)定程序(ESP)微傳感器及系統(tǒng)”針對汽車電子應(yīng)用需求,對MEMS陀螺儀和加速度傳感器的結(jié)構(gòu)進行了優(yōu)化設(shè)計,開發(fā)出了基于...
中國人民解放軍上將:MEMS等微納技術(shù)對國家科技戰(zhàn)略發(fā)展很重要?。ㄗ钤绯珜?dǎo))
? ? 1995年,時任國防科工委主任、中國工程院院士、中國人民解放軍上將丁衡高在《中國慣性技術(shù)學(xué)報》、《儀器儀表學(xué)報》等期刊上,發(fā)表題為《面向21世紀...
2023-05-16 標簽:傳感器mems機電系統(tǒng) 1470 0
先楫攜手凌思科技打造高精度 “姿態(tài)感知器” IMU
在科技日新月異的今天,精準定位與姿態(tài)感知技術(shù)已成為眾多領(lǐng)域不可或缺的一部分。IMU(InertialMeasurementUnit,慣性測量單元)產(chǎn)品,...
STS適用于RF、混合信號和MEMS半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)測試
●全面的RF、數(shù)字和直流儀器產(chǎn)品組合—您可以自定義新的STS配置并升級現(xiàn)有測試儀,以納入您需要的儀器資源,同時保持測試程序和負載板的可移植性。
微型傳感器已逐步開始取代傳統(tǒng)機電技術(shù)的傳感器
微型傳感器基于從半導(dǎo)體集成電路技術(shù)發(fā)展而來的MEMS(微電子機械系統(tǒng)),微型傳感器利用微機械加工技術(shù)將微米級的敏感元件、信號處理器、數(shù)據(jù)處理裝置封裝在一...
MEMS慣性傳感器的發(fā)展方向 MEMS加速度計是MEMS領(lǐng)域最早開始研究的傳感器之一。經(jīng)過多年的發(fā)展MEMS加速度計的設(shè)計和加工技術(shù)已經(jīng)日趨成熟。 目前...
Bosch Sensortec全新推出其歷史上最小的MEMS傳感器——加速度傳感器BMA530,僅為1.2 x 0.8 x 0.55 mm3的小巧體積與...
MEMS制造工藝集成困難?如何打造匹配并互補的生態(tài)系統(tǒng)
MEMS產(chǎn)業(yè)增長潛力巨大,而MEMS制造是產(chǎn)業(yè)持續(xù)發(fā)展的瓶頸還是將潛力兌現(xiàn)成現(xiàn)實的關(guān)鍵路徑?據(jù)麥姆斯咨詢報道,漫長的開發(fā)周期、繁多的制造平臺、研發(fā)期間...
EMT6913芯片采用了創(chuàng)新的3引腳設(shè)計,可借助重慶東微電子提供的自主開發(fā)的修調(diào)工具軟件和片上修調(diào)邏輯,通過輸出引腳把封裝好的MEMS麥克風的靈敏度調(diào)整...
根據(jù)市場研究機構(gòu) IHS iSuppli 針對微機電系統(tǒng)(MEMS)市場所發(fā)表的最新報告,供應(yīng)商InvenSense銷售額在 2012年成長了30%,達...
2013-06-14 標簽:MEMS意法半導(dǎo)體BOSCH 1459 0
增芯科技12英寸晶圓制造項目投產(chǎn)啟動,內(nèi)含國內(nèi)首條12英寸MEMS智能傳感器晶圓生產(chǎn)線
|?項目一期產(chǎn)能預(yù)計2025年底達到2萬片/月 2024年6月28日,增芯科技12英寸晶圓制造項目在廣州增城投產(chǎn)啟動,該項目建設(shè)有國內(nèi)首條、全球第二條的...
28nm嵌入式磁阻式隨機存取內(nèi)存(MRAM)即將問世
在今年即將于美國加州舉行的國際電子組件會議(IEDM)上,來自三星(Samsung)、東芝(Toshiba)、海力士(SK Hynix)等公司的研究團隊...
MEMS硅晶振產(chǎn)品在手機與可穿戴產(chǎn)品中的應(yīng)用
我們前幾篇文章介紹過 MEMS 硅晶振的技術(shù)工藝、 MEMS 諧振器的制程工藝。今天我們介紹一下 MEMS 硅晶振的產(chǎn)品系列。 ? 根據(jù)應(yīng)用來分的話, ...
深海MEMS氣相色譜儀為我國深海深淵探測提供技術(shù)支撐
2022年4月底至6月初,中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所傳感技術(shù)國家重點實驗室馮飛研究員團隊與中科院深??茖W(xué)與工程研究所聯(lián)合研制的深海MEMS氣相色譜...
2022-08-30 標簽:mems數(shù)據(jù)色譜儀 1454 0
賽萊克斯深耕MEMS細分領(lǐng)域,創(chuàng)新研發(fā)構(gòu)建核心技術(shù)壁壘
除了專注技術(shù)革新,賽萊克斯還不忘熱心公益。2019年10月,賽萊克斯董事長楊云春博士向母校青州一中個人捐資1000萬元,設(shè)立“楊云春博士教育基金”,每年...
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