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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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環(huán)保傳感器與工業(yè)過(guò)程控制的應(yīng)用關(guān)系
生態(tài)農(nóng)業(yè)是知識(shí)密集和技術(shù)密集的領(lǐng)域。目前作為“電子感官”的傳感技術(shù)在農(nóng)業(yè)生產(chǎn)、生物學(xué)研究、農(nóng)藥殘留量檢測(cè)等方面得到了廣泛的應(yīng)用。
2020-08-04 標(biāo)簽:傳感器mems計(jì)算機(jī) 1803 0
MEMS智能傳感器有助于實(shí)現(xiàn)器件的設(shè)計(jì)和驗(yàn)證
隨著時(shí)間的推移,壓力傳感器系統(tǒng)的電子器件,被集成至含有處理器的 IC 中,成本和尺寸都獲得縮減。汽車公司現(xiàn)在可以提供一個(gè)連接到安全氣囊裝置的完整系統(tǒng)。雖...
Unispectral可調(diào)諧MEMS濾光器實(shí)現(xiàn)低成本紅外相機(jī)的單光譜成像
該產(chǎn)品主要由組裝在攝像機(jī)模塊上的可調(diào)諧MEMS濾光器和控制板組成。RaspberryPi用于捕獲參數(shù),并通過(guò)USB和/或WiFi連接到顯示器、PC或移動(dòng)...
振動(dòng)環(huán)境下MEMS加速度計(jì)的可靠性評(píng)估
本文研究的MEMS加速度計(jì)為壓阻式硅微加速度計(jì),量程為10 gn,其結(jié)構(gòu)如圖1所示。MEMS加速度計(jì)是由懸臂梁和質(zhì)量塊以及布置在梁上的壓阻組成,呈雙端四梁結(jié)構(gòu)。
這家高新區(qū)打造中國(guó)最大MEMS產(chǎn)業(yè)高地
市場(chǎng)廣闊。MEMS是繼微電子之后又一個(gè)顛覆性技術(shù),也是被發(fā)達(dá)國(guó)家封鎖和壟斷的高新技術(shù)。MEMS技術(shù)屬于多學(xué)科交叉的前沿科技領(lǐng)域,具有功耗低、集成度高、耐...
深迪半導(dǎo)體的MEMS傳感器項(xiàng)目在浙江紹興舉行簽約儀式
據(jù)越牛新聞報(bào)道,改項(xiàng)目投產(chǎn)后將有力引領(lǐng)和帶動(dòng)柯橋芯片產(chǎn)業(yè)的培育發(fā)展,助力紹興打造1000億級(jí)集成電路產(chǎn)業(yè)集群。
中國(guó)傳感器技術(shù)專利統(tǒng)計(jì)分析
針對(duì)傳感器技術(shù)在國(guó)內(nèi)的專利申請(qǐng)狀況,本文檢索結(jié)合關(guān)鍵詞檢索、IPC檢索、邏輯表達(dá)式檢索等方式,檢索了2018年12月31日前公開(kāi)的專利申請(qǐng)數(shù)據(jù)。
2020-08-02 標(biāo)簽:傳感器技術(shù)mems 2763 0
MEMS慣性器件在典型應(yīng)用環(huán)境下的主要失效模式和失效機(jī)理進(jìn)行分析和總結(jié)
Yang Chunhua和Liu Qin等人通過(guò)對(duì)MEMS加速度計(jì)的沖擊試驗(yàn),發(fā)現(xiàn)懸臂梁、梳齒的受力集中點(diǎn)均在根部,即連接點(diǎn)處。當(dāng)沖擊應(yīng)力引起的懸臂梁變...
2020年MEMS傳感器市場(chǎng)將增長(zhǎng)10%
Fact.MR指出,全球MEMS傳感器市場(chǎng)在本質(zhì)上是穩(wěn)固的,一些電子和半導(dǎo)體跨國(guó)公司(如意法半導(dǎo)體,博世、恩智浦和德州儀器)獲得了最大的份額。其中,意法...
MEMS流量傳感器內(nèi)部結(jié)構(gòu) 檢測(cè)原理解析
這種傳感器芯片采用使用熱線的質(zhì)量流量檢測(cè)方式。其芯片中央具有加熱器,上游側(cè)的熱電堆 (A)及下游側(cè)熱電堆 (B)配置在加熱器的 兩側(cè),熱電堆附近配置有基...
睿創(chuàng)微納持續(xù)深耕紅外熱成像,戰(zhàn)略布局激光測(cè)距和短波紅外
睿創(chuàng)微納產(chǎn)品主要包括非制冷紅外熱成像MEMS芯片、紅外熱成像探測(cè)器、紅外熱成像機(jī)芯(成像機(jī)芯和測(cè)溫機(jī)芯)、紅外熱像儀、激光產(chǎn)品及光電系統(tǒng)。紅外MEMS芯...
MEMS的制造主要采用Si材料,它與IC的不同在于,IC是電信號(hào)的傳輸、轉(zhuǎn)換及處理,而MEMS是電信號(hào)和其他形式能量間的轉(zhuǎn)換(以機(jī)械能為典型),所以在M...
睿創(chuàng)微納籌建新型半導(dǎo)體技術(shù)研究院,打造8寸MEMS中試線
通過(guò)成立公共服務(wù)平臺(tái),建設(shè)化合物半導(dǎo)體及MEMS工藝平臺(tái),開(kāi)發(fā)可產(chǎn)業(yè)化且具備市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力的新材料、新器件、新技術(shù)和新應(yīng)用,推動(dòng)本地區(qū)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。堅(jiān)持...
2020-07-31 標(biāo)簽:mems半導(dǎo)體技術(shù) 4023 0
蘇州地區(qū)MEMS產(chǎn)業(yè)高技能人才培養(yǎng)模式探析
MEMS產(chǎn)業(yè)高技能人才的素質(zhì)要求主要包括專業(yè)能力、個(gè)人特質(zhì)、方法能力和社會(huì)能力四個(gè)部分,具體體現(xiàn)在責(zé)任心、職業(yè)道德感、奉獻(xiàn)精神、溝通與協(xié)調(diào)能力、獨(dú)立工作...
Rajendra K S等人在2003年就在MEMS工藝的基礎(chǔ)上制備出了微型的壓電式能量收集器,可實(shí)現(xiàn)小型無(wú)線傳感器自供電功能,避免外接電源和斷電等問(wèn)題...
2020-07-31 標(biāo)簽:驅(qū)動(dòng)器mems無(wú)線傳感器 1.3萬(wàn) 0
MEMS與傳感器產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟(MSIG)的首席戰(zhàn)略官Steve Whalley認(rèn)為MEMS工藝不同于IC工藝,會(huì)產(chǎn)生許多種MEMS設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu),進(jìn)而推動(dòng)MEMS...
MEMS器件利用半導(dǎo)體加工技術(shù)來(lái)制造三維機(jī)械結(jié)構(gòu),三種最常用的MEMS制造技術(shù)包括體微加工(Bulk Micro Machining)、表面微加工(Su...
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